https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1442561 林本堅 發明浸潤式微影技術 2021/04/12 05:30 https://img.ltn.com.tw/Upload/business/page/800/2021/04/12/147.jpg 台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅。（記者洪友芳攝） 記者洪友芳／特稿 光學微影是半導體重要的關鍵技術，林本堅被稱為微影技術的先驅者，當前全球半導體高 階製程所用的浸潤式微影技術，就來自他的發明；他也是中研院第一位產業界出身的院士 。 中研院首位產業界出身院士 林本堅曾任職IBM研究中心長達二十二年時間，帶領團隊創造出許多領先全球的技術；從 IBM退休後，他在美國自行創業近十年，二○○○年在台積電前研發副總經理蔣尚義邀請 下加入台積電；二○○二年間，他改以水為介質，研發出浸潤式微影取代乾式微影，讓台 積電成功引領全球半導體業技術走向，得以推進製程至今。 半導體業從四十奈米製程開始採用浸潤式技術量產，設備大廠艾司摩爾（ASML）也跟著轉 向，全球業界跟進；從四十五奈米到目前量產的五奈米製程都是浸潤式技術，該技術已躍 為全球半導體業量產技術主流，更讓台積電技術領先英特爾、三星，居全球半導體領導地 位。 林本堅獲獎無數，除了多次獲IBM頒發傑出發明獎、傑出貢獻獎外，更當選美國國家工程 學院院士、國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一獎、Cledo Brunetti獎、工研院院 士、潘文淵文教基金會研究傑出獎、IEEE會士及首位產業界的中研院院士：二○一八年底 ，有「中國諾貝爾獎」之稱的未來科學大獎，還頒給他高達一百萬美元的數學與電腦科學 獎項，顯見他在業界的重要地位。 林本堅二○一五年十一月自台積電退休，原規劃輕鬆過日子、專心傳教，沒想到清大找他 去教書；他說現在好像跟當初來台灣一樣，有很多喜歡的事要做，時間不夠分配，除了教 課外，還接任台積電與清大的聯合研發中心主任、負責主持產學大聯盟，加上每週打兩次 網球、每月最後一週負責教會講道等；林本堅笑說：「退休後更忙碌。」 -- 佛沒說小乘、大乘。上座部佛教馬哈希尊者帝釋所問經講記77頁拆穿假佛法大乘的騙局。 上座部佛教明昆《南傳菩薩道》是真釋迦牟尼佛的菩薩成佛之道 大乘是假菩薩成佛之道 妙法蓮華經、華嚴經、心經、金剛經、梵網經(菩薩戒)、圓覺經、楞嚴經是大乘假佛經。 阿彌陀佛 藥師佛 大日如來是大乘假佛 觀世音 維摩詰 龍樹 地藏王是大乘假菩薩 https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/soul/M.1584460614.A.E88.html 上座部佛教目犍連子帝須和那先破偽經大乘十方諸佛 --

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