https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1442561 林本坚 发明浸润式微影技术 2021/04/12 05:30 https://img.ltn.com.tw/Upload/business/page/800/2021/04/12/147.jpg 台积电前研发副总经理、现任清华大学讲座教授林本坚。（记者洪友芳摄） 记者洪友芳／特稿 光学微影是半导体重要的关键技术，林本坚被称为微影技术的先驱者，当前全球半导体高 阶制程所用的浸润式微影技术，就来自他的发明；他也是中研院第一位产业界出身的院士 。 中研院首位产业界出身院士 林本坚曾任职IBM研究中心长达二十二年时间，带领团队创造出许多领先全球的技术；从 IBM退休後，他在美国自行创业近十年，二○○○年在台积电前研发副总经理蒋尚义邀请 下加入台积电；二○○二年间，他改以水为介质，研发出浸润式微影取代乾式微影，让台 积电成功引领全球半导体业技术走向，得以推进制程至今。 半导体业从四十奈米制程开始采用浸润式技术量产，设备大厂艾司摩尔（ASML）也跟着转 向，全球业界跟进；从四十五奈米到目前量产的五奈米制程都是浸润式技术，该技术已跃 为全球半导体业量产技术主流，更让台积电技术领先英特尔、三星，居全球半导体领导地 位。 林本坚获奖无数，除了多次获IBM颁发杰出发明奖、杰出贡献奖外，更当选美国国家工程 学院院士、国际电机电子工程师学会（IEEE）西泽润一奖、Cledo Brunetti奖、工研院院 士、潘文渊文教基金会研究杰出奖、IEEE会士及首位产业界的中研院院士：二○一八年底 ，有「中国诺贝尔奖」之称的未来科学大奖，还颁给他高达一百万美元的数学与电脑科学 奖项，显见他在业界的重要地位。 林本坚二○一五年十一月自台积电退休，原规划轻松过日子、专心传教，没想到清大找他 去教书；他说现在好像跟当初来台湾一样，有很多喜欢的事要做，时间不够分配，除了教 课外，还接任台积电与清大的联合研发中心主任、负责主持产学大联盟，加上每周打两次 网球、每月最後一周负责教会讲道等；林本坚笑说：「退休後更忙碌。」 -- 佛没说小乘、大乘。上座部佛教马哈希尊者帝释所问经讲记77页拆穿假佛法大乘的骗局。 上座部佛教明昆《南传菩萨道》是真释迦牟尼佛的菩萨成佛之道 大乘是假菩萨成佛之道 妙法莲华经、华严经、心经、金刚经、梵网经(菩萨戒)、圆觉经、楞严经是大乘假佛经。 阿弥陀佛 药师佛 大日如来是大乘假佛 观世音 维摩诘 龙树 地藏王是大乘假菩萨 https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/soul/M.1584460614.A.E88.html 上座部佛教目犍连子帝须和那先破伪经大乘十方诸佛 --

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