作者enouch777 (雷)
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標題[新聞] 生產3奈米晶片！陸半導體技術重大突破「
時間Tue Mar 25 15:19:57 2025
原文標題：生產3奈米晶片！陸半導體技術重大突破「不同於ASML」
※請勿刪減原文標題
原文連結：
https://bit.ly/4hIRq3A
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發布時間：
12:232025/03/25
工商 賴瑩綺
※請以原文網頁/報紙之發布時間為準
記者署名：
12:232025/03/25
工商 賴瑩綺
※原文無記載者得留空
原文內容：
大陸快科技報導，中國科學院研發除了突破性的固態DUV（深紫外線）雷射，可發射193nm的
相干光，與目前主流的DUV曝光波長一致，能將半導體製程推進至3nm。
據悉，ASML、佳能、Nikon的DUV光刻機都採用了氟化氙（ArF）準分子雷射技術，透過氬、
氟氣體混合物在高壓電場下生成不穩定分子，釋放出193nm波長的光子，然後以高能量的短
脈衝形式發射，輸出功率100-120W，頻率8k-9kHz，再透過光學系統調整，用於曝光設備。
中科院的固態DUV雷射技術完全基於固態設計，由自製的Yb:YAG晶體放大器產生1030nm的雷
射，在通過兩條不同的光學路徑進行波長轉換。之後，轉換後的兩路雷射透過串級硼酸鋰（
LBO）晶體混合，產生193nm波長的雷射光束。
最後獲得的雷射平均功率為70mW，頻率為6kHz，線寬低於880MHz，半峰全寬（FWHM）小於0.
11皮米（千分之一奈米），光譜純度與現有商用準分子雷射系統相當。基於此，可用於3nm
的製程節點。
報導稱，這種設計可以大幅降低微影系統的複雜度、體積，減少對於稀有氣體的依賴，並大
幅降低能耗。
報導指出，這種全固態DUV光源技術雖然在光譜純度上已經和商用標準相差無幾，但是輸出
功率、頻率都還低很多。對比ASML的技術，頻率達到了約三分之二，但輸出功率只有0.7％
的水平，因此仍然需要繼續迭代、提升才能商用。
心得/評論：
每次看中時集團的新聞都覺得好好笑
標題很會下
～生產3奈米？
內文193nm DUV ~只能生產65nm好嗎？
要搭配immersion 才能做40nm以下到7nm
你光能量只有ASML的0.7%，到底樣泡水裡面？
笑死人
※必需填寫滿30正體中文字，無意義者板規處分
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1F：噓 angeltear15 : 吹起來 03/25 15:20
2F：推 fbiciamib123: 中又贏 03/25 15:21
3F：噓 cityhunter04: 之前都手刻5奈米了，3奈米算什麼？ 03/25 15:21
4F：推 kobebrian : 為啥可以下這個標題？ 03/25 15:21
5F：→ stanleyplus : 中又贏麻 03/25 15:22
6F：噓 Jaline5566 : 中國又在吹了 03/25 15:22
7F：→ ohya111326 : 中國哪次不成功 03/25 15:22
8F：推 n3688 : 開頭先寫明中時 可以節省很多人時間 03/25 15:23
9F：推 Gipmydanger : 讚喔又贏了 03/25 15:23
10F：→ imlucky : 涼綠呢？ 03/25 15:23
11F：推 chou3321 : 鍾幼瑩 03/25 15:24
12F：推 fat980 : 深淵大突破 03/25 15:24
13F：噓 southpeace : 騙我時間 03/25 15:24
14F：噓 edward198791: 喔是喔 03/25 15:25
15F：推 bestbaseball: 不懂的人會以為很屌啊 03/25 15:26
16F：推 b455104 : 這種文一出鹿港就是至少緩跌半年 03/25 15:26
17F：→ raku : 笑死 實驗室生產 有屁用 連良率都沒有的製程 03/25 15:27
18F：噓 squelch : 結果還是不能用 03/25 15:27
19F：噓 elmo0155 : 中時的 03/25 15:28
20F：推 pimday : 拜託你快點傾全國力量去做 有多少做多少 03/25 15:28
21F：推 hpk89 : 前面吹完嚇死人，後面一看0.7%笑死人 03/25 15:28
22F：→ jyan97 : 0.7%== 03/25 15:29
23F：推 hihi29 : 東升西降 中國或成最大贏家 03/25 15:30
24F：推 adwn : 贏麻了 03/25 15:32
25F：推 fantasyscure: 良率呢？ 03/25 15:32
26F：→ jei01 : 三星和Intel連拿到EUV也作不出像樣的東西來 03/25 15:32
27F：推 win8719 : 最後一句是重點~不能商用 03/25 15:32
28F：→ jei01 : 你想追上還早 03/25 15:32
29F：→ pkmu8426 : 反正已經是中美的事 跟台無關惹 03/25 15:33
30F：推 Lowpapa : 反觀 03/25 15:33
31F：推 c41231717 : 記者只要抄文章了事就好了 真正的薪水小偷 03/25 15:34
32F：噓 gtaped05550 : 有沒有陸吹 快點出來吹 我來笑 03/25 15:34
33F：推 ajkofqq : TSMC DIE! 03/25 15:35
34F：推 aaa80563 : 丸子 買些台G壓壓驚 03/25 15:36
35F：推 OSDim : 這是好事，多浪費一點電啊嘻嘻 03/25 15:37
36F：噓 hrml : 智障新聞 03/25 15:37
37F：推 suzu1 : 難怪台積電一直崩，原來早知道了 03/25 15:37
38F：噓 knifeking : 良率？繼續吹 03/25 15:38
39F：推 bior1234 : 雷射平均功率70mW XDDD 03/25 15:38
40F：推 jeter8695 : 讚 習近平趕快補助中芯多買一點 03/25 15:39
41F：→ HsihHan : 東升西降 以太平洋來看 03/25 15:39
42F：噓 junior020486: 好了啦，七奈米良率先起來再說 03/25 15:40
43F：→ fywei : 為什麼要一直發智障新聞 03/25 15:41
44F：推 ahong88105 : 還笑的出來啊… 03/25 15:42
45F：推 walker6765 : 我大中國不是早量產ㄧ奈米了？ 03/25 15:42
46F：推 soon55555 : 你只能相信有東方神秘力量 03/25 15:43
47F：推 jvor0719 : 永遠成功 每失敗過 好神話的民族 03/25 15:43
49F：推 stjerry0303 : 不是3米嗎？ 03/25 15:43
50F：推 ahong88105 : 這是國際光電協會SPIE發的新聞 03/25 15:44
52F：→ CTTSAI : 文組… 03/25 15:44
54F：推 david3033 : 現實中 越會吹的 越沒有自信 看看三星 03/25 15:45
55F：推 losage : 這是工商日報耶… 03/25 15:46
56F：推 alexxyang : 太強啦祖國 麻煩小米oppo別再用美麗國高通了好嗎 03/25 15:46
57F：→ ahong88105 : 這篇寫的比較詳細 03/25 15:46
58F：→ losage : 不是，原來是中國時報… 03/25 15:46
59F：→ alexxyang : 灣灣製的高通晶片到底有啥好 03/25 15:47
60F：推 nady0953 : 十年前的技術.. 03/25 15:48
61F：推 yuuu9 : 神速 這樣要世界第一遲早的事 03/25 15:48
62F：噓 instill8 : 聯合重工系統 03/25 15:49
63F：噓 zxc89003 : 贏麻了 03/25 15:49
64F：噓 zalasas39 : 彎道超車 厲害了 03/25 15:51
65F：推 JerryLian : 低頻光怎麼轉高頻光？ 03/25 15:55
66F：噓 Ayasaki0916 : 真的贏麻了 03/25 15:55
67F：噓 ketter : 別說了 我們繼續找白手套買台積電晶片 03/25 15:55
68F：→ atk0069 : 70mW…… 03/25 15:56
69F：推 k1k1832002 : 應該是混著講了,3奈米大概是看華為專利來的 03/25 15:56
70F：推 alphish : 但是5年之內要小心就是了 到時GG 3000不知道穩嗎 03/25 15:57
71F：推 yuebin : 迭代到能3奈米商用，ASML都不知道已經0.幾奈米了 03/25 15:57
72F：噓 bairn : 搖搖領先，雙贏 03/25 15:58
73F：推 mainsa : 別家用超過20年的技術現在才弄到0.7%能量還能蝦吹 03/25 15:59
74F：→ mainsa : 有時候覺得支吹很容易滿足 03/25 15:59
75F：推 Roger5566 : 遙遙領先喔 03/25 16:00
76F：→ Like5566Like: 獨門秘技就是找白手套跟GG下單 03/25 16:04
77F：→ ifay : 台積電是不是有人跑去技轉 03/25 16:05
78F：噓 F20V : 中國或成最大贏家 03/25 16:07
79F：→ F20V : 中時、聯合報不知道拿了共產黨多少錢，整天吹中國高 03/25 16:08
80F：→ F20V : 大上 03/25 16:08
81F：噓 sonyvaio : 甘五口林 03/25 16:11
82F：噓 TRIGUNKING : 閱~ 03/25 16:11
83F：噓 mccloud : 哇 中時 03/25 16:12
84F：→ mccloud : 總裁蔡衍明表示，媒體的責任，講求一個「真」 03/25 16:12
85F：推 chienk : 根本就是內耗。 03/25 16:12
86F：噓 devifuqi : 雙贏 贏兩次 03/25 16:13
87F：推 k798976869 : 手刻晶片 繼續騙補助 03/25 16:14
88F：推 dwood123 : 只有0.7%的功率為何叫重大突破？ 03/25 16:15
89F：→ DL3 : 三奈米良率0.1%？這樣能幹嘛？ 03/25 16:16
90F：推 davidtoldyou: 祖國偉哉吹起來 03/25 16:16
91F：推 FXW11314 : 70mW是雷射筆喔… 03/25 16:16
92F：推 hamnett17th : 一定是手刻晶片 03/25 16:19
93F：→ noirskakashi: 去年不是要搞光刻廠 03/25 16:20
94F：推 mumuwei : 還以為是手刻進度到3奈米了 03/25 16:21
95F：噓 WTF55665566 : 大媽手刻或成最大贏家 03/25 16:21
96F：推 guowei616 : 這新聞我看好幾年了 03/25 16:24
97F：推 ts0045851127: 這不是很久以前的技術嗎 03/25 16:30
98F：推 ETTom : 新聞一堆爛標題不是第一天了 有傾向的新聞幾乎都會 03/25 16:32
99F：推 dbdudsorj : 中國一定強 中國一定強 一起唱！！ 03/25 16:36
100F：噓 river98 : 急了 03/25 16:39
101F：推 gfsog : 哦哦哦真的假的，原來是中屎報系 03/25 16:41
102F：推 scott67871 : 支或淫 03/25 16:42
103F：推 zsquarez : 是喔是喔真都假都 03/25 16:45
104F：推 kentin : 反正習包子也不懂能騙補助就好 03/25 16:46
105F：噓 alin1028 : 中時食屎 03/25 16:48
106F：→ Cyslot : 先量產再說吧... 03/25 16:49
107F：噓 uxy82 : 詐騙新聞zzz 03/25 16:53
108F：噓 baboosh : 笑死 反正全靠吹 03/25 16:56
109F：噓 snoopyboy123: 老師傅手工奈米級芯片是吧 03/25 16:57
110F：推 j3 : 70mW 還差1000倍 03/25 16:59
111F：推 saladbread : 彎道超車 03/25 17:01
112F：噓 mynewid : 手刻早就發展出來了 03/25 17:03
113F：→ painvano : 叫deepseek先用啊 不要向輝達買 03/25 17:06
114F：推 Roger1015 : 手刻晶片 03/25 17:11
115F：推 s06i06 : 問就是中又贏 03/25 17:12
116F：推 q22w : 0.7% XDDDDDD 03/25 17:21
117F：推 eelse : 繼續騙補助 03/25 17:22
118F：推 boy1031 : 去用百倍價買台積電2奈米，再磨字，萬倍價跟共慘要 03/25 17:31
119F：→ boy1031 : 補助，就搞定 03/25 17:31
120F：推 NEWinx : 無法商用也先吹再說，這很中國 03/25 17:34
121F：→ Jeff1989 : 不曉得離商用階段還要多久 03/25 17:39
122F：噓 chungj : 中時日常 03/25 17:51
123F：推 exrana : 呼呼呼 03/25 17:53
124F：推 pt993526 : 難怪鹿港大漲 03/25 17:54
125F：→ chaojune : 笑死 03/25 17:56
126F：推 curlymonkey : 彎道超車 開卷 03/25 18:05
127F：→ ActionII : 0.7趴的功率0.0？ 03/25 18:12
128F：→ ActionII : 這樣要商用是不是只能力大磚飛 03/25 18:13
129F：推 u327825 : 唐湘聾吹好幾天了，我聽到笑到流眼淚 03/25 18:19
130F：噓 ttgg : 統戰新聞台不必看 03/25 18:26
131F：推 s213092921 : 麒麟9020都追上台積電5nm了，下一次就是追上3或4nm 03/25 18:33
132F：推 amigowei : 研發最新最利最高科技的美工刀 03/25 18:38
133F：推 acswat : 太牛逼了 03/25 18:38
134F：→ eriker : 中時 03/25 18:42
135F：噓 Rutschman : 中屎的日常 03/25 18:48
136F：推 mecca : 肯做肯試推 03/25 18:48
137F：推 inoran54787 : 看到中時就先打1折 03/25 18:59
138F：推 zsp8084 : 又贏 03/25 19:01
139F：噓 ai86109 : 中國又贏了 03/25 19:11
140F：噓 bifox : 快科技哪根蔥 03/25 19:21
141F：推 assian : 是30年老師傅施工的嗎? 03/25 19:24
142F：推 talentsu : 小熊維尼國不是已經0.3奈米了嗎？ 03/25 19:28
143F：→ wilson5938 : 爻爻領先 03/25 19:29
144F：推 fastfu : 沒藥醫 03/25 19:31
145F：推 a524528 : 可以用在3奈米這句話本身就很有趣 03/25 19:43
146F：→ a524528 : 因為3nm還是需要些比較舊的機型 03/25 19:43
147F：推 ian41360 : 0.7%…水就吸收了吧 03/25 19:52
148F：推 harddriver : 貼牌 03/25 19:57
149F：推 linuxpi : 詐騙之國 03/25 20:07
150F：推 awss1971 : 不吹不黑...中必贏 又贏 雙贏 贏兩次 贏麻了!! 03/25 20:07
151F：→ imba789 : 搖搖領先 03/25 20:10
152F：噓 l835566 : 準分子雷射很久了...講得很潮一樣 03/25 20:24
153F：推 BrianTN17 : 吹幾次了?十五年前就說超越臺雞雞 03/25 20:34
154F：→ zick8932511 : 全世界研發都贏不了中國 03/25 20:37
155F：推 edison3333 : PTT有再酸葡萄了 03/25 20:44
156F：推 gn01924077 : 70mW…throughput會很慘… 03/25 20:52
157F：推 ggiccggicc : 100台同時用不就70%？ 200台140% 贏麻了 03/25 21:00
158F：→ asidy : 輸出功率笑死XD,用duv良率能上來再吹吧 03/25 21:22
159F：推 kungwei : 手磨3nm 03/25 21:34
160F：推 reko3703 : 光力過剩…. 03/25 22:22
161F：→ yuandsan : 怕死了，明天全部出清艾斯摸餌 03/25 23:34
162F：推 horsetail : 中國最會表面工程 包括標題都是 03/26 00:19
163F：推 CoachKuester: 鐘又淫 03/26 00:19
164F：推 rainys : 再研發個30年進入量產 遙遙領先 03/26 01:14
165F：→ godchoice : 中騙子 美強盜，韭菜喜歡那個呢？ 03/26 07:23
166F：推 aleventy : GG大利多 03/26 08:15
167F：→ akway : 中又贏 03/26 08:32
168F：噓 sanos168 : 大外吹 03/26 09:30
169F：→ opqr9988 : 這個大概10年前就有了 不過功率不足 03/26 11:11
170F：噓 octavinus : 中又贏 03/26 12:27
171F：推 mdkn35 : NMSL 03/26 13:08
172F：推 ice1015 : 0.7%wwwwwwww 03/26 19:17
173F：噓 phoenixtwo : 講半天不能傷用 03/26 21:58