作者enouch777 (雷)
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标题[新闻] 生产3奈米晶片！陆半导体技术重大突破「
时间Tue Mar 25 15:19:57 2025
原文标题：生产3奈米晶片！陆半导体技术重大突破「不同於ASML」
※请勿删减原文标题
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发布时间：
12:232025/03/25
工商 赖莹绮
※请以原文网页/报纸之发布时间为准
记者署名：
12:232025/03/25
工商 赖莹绮
※原文无记载者得留空
原文内容：
大陆快科技报导，中国科学院研发除了突破性的固态DUV（深紫外线）雷射，可发射193nm的
相干光，与目前主流的DUV曝光波长一致，能将半导体制程推进至3nm。
据悉，ASML、佳能、Nikon的DUV光刻机都采用了氟化氙（ArF）准分子雷射技术，透过氩、
氟气体混合物在高压电场下生成不稳定分子，释放出193nm波长的光子，然後以高能量的短
脉冲形式发射，输出功率100-120W，频率8k-9kHz，再透过光学系统调整，用於曝光设备。
中科院的固态DUV雷射技术完全基於固态设计，由自制的Yb:YAG晶体放大器产生1030nm的雷
射，在通过两条不同的光学路径进行波长转换。之後，转换後的两路雷射透过串级硼酸锂（
LBO）晶体混合，产生193nm波长的雷射光束。
最後获得的雷射平均功率为70mW，频率为6kHz，线宽低於880MHz，半峰全宽（FWHM）小於0.
11皮米（千分之一奈米），光谱纯度与现有商用准分子雷射系统相当。基於此，可用於3nm
的制程节点。
报导称，这种设计可以大幅降低微影系统的复杂度、体积，减少对於稀有气体的依赖，并大
幅降低能耗。
报导指出，这种全固态DUV光源技术虽然在光谱纯度上已经和商用标准相差无几，但是输出
功率、频率都还低很多。对比ASML的技术，频率达到了约三分之二，但输出功率只有0.7％
的水平，因此仍然需要继续迭代、提升才能商用。
心得/评论：
每次看中时集团的新闻都觉得好好笑
标题很会下
～生产3奈米？
内文193nm DUV ~只能生产65nm好吗？
要搭配immersion 才能做40nm以下到7nm
你光能量只有ASML的0.7%，到底样泡水里面？
笑死人
※必需填写满30正体中文字，无意义者板规处分
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1F：嘘 angeltear15 : 吹起来 03/25 15:20
2F：推 fbiciamib123: 中又赢 03/25 15:21
3F：嘘 cityhunter04: 之前都手刻5奈米了，3奈米算什麽？ 03/25 15:21
4F：推 kobebrian : 为啥可以下这个标题？ 03/25 15:21
5F：→ stanleyplus : 中又赢麻 03/25 15:22
6F：嘘 Jaline5566 : 中国又在吹了 03/25 15:22
7F：→ ohya111326 : 中国哪次不成功 03/25 15:22
8F：推 n3688 : 开头先写明中时 可以节省很多人时间 03/25 15:23
9F：推 Gipmydanger : 赞喔又赢了 03/25 15:23
10F：→ imlucky : 凉绿呢？ 03/25 15:23
11F：推 chou3321 : 锺幼莹 03/25 15:24
12F：推 fat980 : 深渊大突破 03/25 15:24
13F：嘘 southpeace : 骗我时间 03/25 15:24
14F：嘘 edward198791: 喔是喔 03/25 15:25
15F：推 bestbaseball: 不懂的人会以为很屌啊 03/25 15:26
16F：推 b455104 : 这种文一出鹿港就是至少缓跌半年 03/25 15:26
17F：→ raku : 笑死 实验室生产 有屁用 连良率都没有的制程 03/25 15:27
18F：嘘 squelch : 结果还是不能用 03/25 15:27
19F：嘘 elmo0155 : 中时的 03/25 15:28
20F：推 pimday : 拜托你快点倾全国力量去做 有多少做多少 03/25 15:28
21F：推 hpk89 : 前面吹完吓死人，後面一看0.7%笑死人 03/25 15:28
22F：→ jyan97 : 0.7%== 03/25 15:29
23F：推 hihi29 : 东升西降 中国或成最大赢家 03/25 15:30
24F：推 adwn : 赢麻了 03/25 15:32
25F：推 fantasyscure: 良率呢？ 03/25 15:32
26F：→ jei01 : 三星和Intel连拿到EUV也作不出像样的东西来 03/25 15:32
27F：推 win8719 : 最後一句是重点~不能商用 03/25 15:32
28F：→ jei01 : 你想追上还早 03/25 15:32
29F：→ pkmu8426 : 反正已经是中美的事 跟台无关惹 03/25 15:33
30F：推 Lowpapa : 反观 03/25 15:33
31F：推 c41231717 : 记者只要抄文章了事就好了 真正的薪水小偷 03/25 15:34
32F：嘘 gtaped05550 : 有没有陆吹 快点出来吹 我来笑 03/25 15:34
33F：推 ajkofqq : TSMC DIE! 03/25 15:35
34F：推 aaa80563 : 丸子 买些台G压压惊 03/25 15:36
35F：推 OSDim : 这是好事，多浪费一点电啊嘻嘻 03/25 15:37
36F：嘘 hrml : 智障新闻 03/25 15:37
37F：推 suzu1 : 难怪台积电一直崩，原来早知道了 03/25 15:37
38F：嘘 knifeking : 良率？继续吹 03/25 15:38
39F：推 bior1234 : 雷射平均功率70mW XDDD 03/25 15:38
40F：推 jeter8695 : 赞 习近平赶快补助中芯多买一点 03/25 15:39
41F：→ HsihHan : 东升西降 以太平洋来看 03/25 15:39
42F：嘘 junior020486: 好了啦，七奈米良率先起来再说 03/25 15:40
43F：→ fywei : 为什麽要一直发智障新闻 03/25 15:41
44F：推 ahong88105 : 还笑的出来啊… 03/25 15:42
45F：推 walker6765 : 我大中国不是早量产ㄧ奈米了？ 03/25 15:42
46F：推 soon55555 : 你只能相信有东方神秘力量 03/25 15:43
47F：推 jvor0719 : 永远成功 每失败过 好神话的民族 03/25 15:43
49F：推 stjerry0303 : 不是3米吗？ 03/25 15:43
50F：推 ahong88105 : 这是国际光电协会SPIE发的新闻 03/25 15:44
52F：→ CTTSAI : 文组… 03/25 15:44
54F：推 david3033 : 现实中 越会吹的 越没有自信 看看三星 03/25 15:45
55F：推 losage : 这是工商日报耶… 03/25 15:46
56F：推 alexxyang : 太强啦祖国 麻烦小米oppo别再用美丽国高通了好吗 03/25 15:46
57F：→ ahong88105 : 这篇写的比较详细 03/25 15:46
58F：→ losage : 不是，原来是中国时报… 03/25 15:46
59F：→ alexxyang : 湾湾制的高通晶片到底有啥好 03/25 15:47
60F：推 nady0953 : 十年前的技术.. 03/25 15:48
61F：推 yuuu9 : 神速 这样要世界第一迟早的事 03/25 15:48
62F：嘘 instill8 : 联合重工系统 03/25 15:49
63F：嘘 zxc89003 : 赢麻了 03/25 15:49
64F：嘘 zalasas39 : 弯道超车 厉害了 03/25 15:51
65F：推 JerryLian : 低频光怎麽转高频光？ 03/25 15:55
66F：嘘 Ayasaki0916 : 真的赢麻了 03/25 15:55
67F：嘘 ketter : 别说了 我们继续找白手套买台积电晶片 03/25 15:55
68F：→ atk0069 : 70mW…… 03/25 15:56
69F：推 k1k1832002 : 应该是混着讲了,3奈米大概是看华为专利来的 03/25 15:56
70F：推 alphish : 但是5年之内要小心就是了 到时GG 3000不知道稳吗 03/25 15:57
71F：推 yuebin : 迭代到能3奈米商用，ASML都不知道已经0.几奈米了 03/25 15:57
72F：嘘 bairn : 摇摇领先，双赢 03/25 15:58
73F：推 mainsa : 别家用超过20年的技术现在才弄到0.7%能量还能虾吹 03/25 15:59
74F：→ mainsa : 有时候觉得支吹很容易满足 03/25 15:59
75F：推 Roger5566 : 遥遥领先喔 03/25 16:00
76F：→ Like5566Like: 独门秘技就是找白手套跟GG下单 03/25 16:04
77F：→ ifay : 台积电是不是有人跑去技转 03/25 16:05
78F：嘘 F20V : 中国或成最大赢家 03/25 16:07
79F：→ F20V : 中时、联合报不知道拿了共产党多少钱，整天吹中国高 03/25 16:08
80F：→ F20V : 大上 03/25 16:08
81F：嘘 sonyvaio : 甘五口林 03/25 16:11
82F：嘘 TRIGUNKING : 阅~ 03/25 16:11
83F：嘘 mccloud : 哇 中时 03/25 16:12
84F：→ mccloud : 总裁蔡衍明表示，媒体的责任，讲求一个「真」 03/25 16:12
85F：推 chienk : 根本就是内耗。 03/25 16:12
86F：嘘 devifuqi : 双赢 赢两次 03/25 16:13
87F：推 k798976869 : 手刻晶片 继续骗补助 03/25 16:14
88F：推 dwood123 : 只有0.7%的功率为何叫重大突破？ 03/25 16:15
89F：→ DL3 : 三奈米良率0.1%？这样能干嘛？ 03/25 16:16
90F：推 davidtoldyou: 祖国伟哉吹起来 03/25 16:16
91F：推 FXW11314 : 70mW是雷射笔喔… 03/25 16:16
92F：推 hamnett17th : 一定是手刻晶片 03/25 16:19
93F：→ noirskakashi: 去年不是要搞光刻厂 03/25 16:20
94F：推 mumuwei : 还以为是手刻进度到3奈米了 03/25 16:21
95F：嘘 WTF55665566 : 大妈手刻或成最大赢家 03/25 16:21
96F：推 guowei616 : 这新闻我看好几年了 03/25 16:24
97F：推 ts0045851127: 这不是很久以前的技术吗 03/25 16:30
98F：推 ETTom : 新闻一堆烂标题不是第一天了 有倾向的新闻几乎都会 03/25 16:32
99F：推 dbdudsorj : 中国一定强 中国一定强 一起唱！！ 03/25 16:36
100F：嘘 river98 : 急了 03/25 16:39
101F：推 gfsog : 哦哦哦真的假的，原来是中屎报系 03/25 16:41
102F：推 scott67871 : 支或淫 03/25 16:42
103F：推 zsquarez : 是喔是喔真都假都 03/25 16:45
104F：推 kentin : 反正习包子也不懂能骗补助就好 03/25 16:46
105F：嘘 alin1028 : 中时食屎 03/25 16:48
106F：→ Cyslot : 先量产再说吧... 03/25 16:49
107F：嘘 uxy82 : 诈骗新闻zzz 03/25 16:53
108F：嘘 baboosh : 笑死 反正全靠吹 03/25 16:56
109F：嘘 snoopyboy123: 老师傅手工奈米级芯片是吧 03/25 16:57
110F：推 j3 : 70mW 还差1000倍 03/25 16:59
111F：推 saladbread : 弯道超车 03/25 17:01
112F：嘘 mynewid : 手刻早就发展出来了 03/25 17:03
113F：→ painvano : 叫deepseek先用啊 不要向辉达买 03/25 17:06
114F：推 Roger1015 : 手刻晶片 03/25 17:11
115F：推 s06i06 : 问就是中又赢 03/25 17:12
116F：推 q22w : 0.7% XDDDDDD 03/25 17:21
117F：推 eelse : 继续骗补助 03/25 17:22
118F：推 boy1031 : 去用百倍价买台积电2奈米，再磨字，万倍价跟共惨要 03/25 17:31
119F：→ boy1031 : 补助，就搞定 03/25 17:31
120F：推 NEWinx : 无法商用也先吹再说，这很中国 03/25 17:34
121F：→ Jeff1989 : 不晓得离商用阶段还要多久 03/25 17:39
122F：嘘 chungj : 中时日常 03/25 17:51
123F：推 exrana : 呼呼呼 03/25 17:53
124F：推 pt993526 : 难怪鹿港大涨 03/25 17:54
125F：→ chaojune : 笑死 03/25 17:56
126F：推 curlymonkey : 弯道超车 开卷 03/25 18:05
127F：→ ActionII : 0.7趴的功率0.0？ 03/25 18:12
128F：→ ActionII : 这样要商用是不是只能力大砖飞 03/25 18:13
129F：推 u327825 : 唐湘聋吹好几天了，我听到笑到流眼泪 03/25 18:19
130F：嘘 ttgg : 统战新闻台不必看 03/25 18:26
131F：推 s213092921 : 麒麟9020都追上台积电5nm了，下一次就是追上3或4nm 03/25 18:33
132F：推 amigowei : 研发最新最利最高科技的美工刀 03/25 18:38
133F：推 acswat : 太牛逼了 03/25 18:38
134F：→ eriker : 中时 03/25 18:42
135F：嘘 Rutschman : 中屎的日常 03/25 18:48
136F：推 mecca : 肯做肯试推 03/25 18:48
137F：推 inoran54787 : 看到中时就先打1折 03/25 18:59
138F：推 zsp8084 : 又赢 03/25 19:01
139F：嘘 ai86109 : 中国又赢了 03/25 19:11
140F：嘘 bifox : 快科技哪根葱 03/25 19:21
141F：推 assian : 是30年老师傅施工的吗? 03/25 19:24
142F：推 talentsu : 小熊维尼国不是已经0.3奈米了吗？ 03/25 19:28
143F：→ wilson5938 : 爻爻领先 03/25 19:29
144F：推 fastfu : 没药医 03/25 19:31
145F：推 a524528 : 可以用在3奈米这句话本身就很有趣 03/25 19:43
146F：→ a524528 : 因为3nm还是需要些比较旧的机型 03/25 19:43
147F：推 ian41360 : 0.7%…水就吸收了吧 03/25 19:52
148F：推 harddriver : 贴牌 03/25 19:57
149F：推 linuxpi : 诈骗之国 03/25 20:07
150F：推 awss1971 : 不吹不黑...中必赢 又赢 双赢 赢两次 赢麻了!! 03/25 20:07
151F：→ imba789 : 摇摇领先 03/25 20:10
152F：嘘 l835566 : 准分子雷射很久了...讲得很潮一样 03/25 20:24
153F：推 BrianTN17 : 吹几次了?十五年前就说超越台鸡鸡 03/25 20:34
154F：→ zick8932511 : 全世界研发都赢不了中国 03/25 20:37
155F：推 edison3333 : PTT有再酸葡萄了 03/25 20:44
156F：推 gn01924077 : 70mW…throughput会很惨… 03/25 20:52
157F：推 ggiccggicc : 100台同时用不就70%？ 200台140% 赢麻了 03/25 21:00
158F：→ asidy : 输出功率笑死XD,用duv良率能上来再吹吧 03/25 21:22
159F：推 kungwei : 手磨3nm 03/25 21:34
160F：推 reko3703 : 光力过剩…. 03/25 22:22
161F：→ yuandsan : 怕死了，明天全部出清艾斯摸饵 03/25 23:34
162F：推 horsetail : 中国最会表面工程 包括标题都是 03/26 00:19
163F：推 CoachKuester: 钟又淫 03/26 00:19
164F：推 rainys : 再研发个30年进入量产 遥遥领先 03/26 01:14
165F：→ godchoice : 中骗子 美强盗，韭菜喜欢那个呢？ 03/26 07:23
166F：推 aleventy : GG大利多 03/26 08:15
167F：→ akway : 中又赢 03/26 08:32
168F：嘘 sanos168 : 大外吹 03/26 09:30
169F：→ opqr9988 : 这个大概10年前就有了 不过功率不足 03/26 11:11
170F：嘘 octavinus : 中又赢 03/26 12:27
171F：推 mdkn35 : NMSL 03/26 13:08
172F：推 ice1015 : 0.7%wwwwwwww 03/26 19:17
173F：嘘 phoenixtwo : 讲半天不能伤用 03/26 21:58