作者rosemary0401 (rosemary)
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標題Re: [新聞] ASML強敵來了！陸「EUV關鍵技術」大突破
時間Sat Jan 18 21:40:21 2025
※ 引述《scitamehtam (新竹恐牙狼)》之銘言：
: ASML強敵來了！陸「EUV關鍵技術」大突破 下一步國產曝光機？
: https://www.chinatimes.com/realtimenews/20250118000073-260410
: 哈爾濱工業大學（哈工大）近日宣布，已成功研發出13.5奈米極紫外光（EUV）光源技術
: ，打破此領域由美國企業壟斷的局面，也為大陸的國產EUV曝光機製造點亮了一線曙光。
: 此消息一出，對於掌握EUV曝光機主導地位的ASML（艾司摩爾）來說始料未及，該公司先
: 前曾強調，EUV機台的開發仰賴超過40個國家、數百家供應商技術的匯集。
發表一些自己的看法，給大家批判。
先說我自己的結論：
中國在科研領域確實有一些成果，但和ASML的差距仍然是非常的巨大。
ASML的CEO之前說『和西方的差距有10-15年』其實並不誇張。[1]
首先哈工大並沒有像ASML一樣，完全地掌握EUV光源技術，
這個甚至很多中國的自媒體都有提到。
EUV的光源系統有多條技術路線：
1. 同步輻射
2. FEL
3. LPP
4. DPP
5. LDP
其中LPP和DPP是比較有商用可能性的，目前ASML的EUV光源系統採用的LPP技術路線，
而哈工大取的進展的是ASML曾經捨棄的DPP路線，
而且這僅僅是在DPP的研究上取得一些成果，距離可以商用，並且用於量產，
可能還需要很長的一段時間。
所以我們才說哈工大並沒有完全地掌握EUV光源技術。
那中國要掌握EUV光源技術大概需要多久呢？
我們可以參考過去技術突破的一些案例。
比方說幾週前大日本印刷DNP有技術突破，開發出給High-NA EUV用的1奈米光罩[2]，
但同時也提到預計在2027年才能用於2奈米的量產，並在2030年才能用於1奈米的量產。
又比方說在2023年底，佳能開發出號稱可以用於2奈米壓印(NIL)設備，
但目前僅鍇俠用於15奈米的NAND快閃記憶體製造上，
並且計劃在2025年用於5奈米的NAND快閃記憶體製造， [3]
並沒有提到NIL什麼時候可以用在2奈米的量產。
所以一個技術的突破，到可以商用量產，花個3-5年，那是很正常的。
更何況哈工大取的進展的是ASML曾經捨棄的DPP技術路線，
還不是目前正在用的LPP技術路線。
如果中國能花5年追上ASML目前的EUV光源技術，那已經是很了不起的成就了。
但那也僅僅是突破光源技術而已......
EUV曝光機有5000+個供應商，數10萬個零部件，光源技術僅僅是EUV的核心零件之一。
EUV曝光機的核心零件包含但不限於：
光源系統：美國Cymer，日本Gigaphoton
鏡頭：德國蔡司
光罩：美國Photronics，日本DNP
雙工作台：日本東京威力科創
真空儀器儀表：美國BrooksAutomation
離子注入機套件：美國AxcelisTechnologies
…等等
台灣的漢微科和信邦電子也都有提供零部件給ASML。
而這些提供零部件給ASML的公司，很多都是該領域的一方之霸。
所以人們才說EUV曝光機是皇冠上的珍珠，是人類智慧的結晶，
很難由一個國家單獨製造出來。
當然，這5000+個供應商，中國未必全部都要攻克，
也許有些零件不在制裁清單上面，用買的也可以。
如果中國在5-10年內做出一台EUV的樣機，
我並不會感到太訝異(但從樣機到可以量產，可能還要再花個3-5年)
因為尼康就曾在2007-2008年左右就做出EUV的樣機， [4]
只因研發成本昂貴，又無法在商業上取的進展，最終放棄了EUV的開發。
我的結論是，中國在科研領域確實有一些成果，但和ASML的差距仍然是非常的巨大。
ASML的CEO之前說『和西方的差距有10-15年』其實並不誇張。[1]
如果中國有無限的資金，花個10-15年趕上現在的ASML，也許真有可能。
Reference:
[1]
https://reurl.cc/5DEV8z
[2]
https://reurl.cc/M6G9Rk
[3]
https://biglegsrabbit.blogspot.com/2025/01/nil.html
[4]
https://www.163.com/dy/article/HVFS9PFI0553OSM3.html
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1F：推 good5755 : 可是我記得前幾年網路上都在吹2025超越歐美耶 01/18 21:46
2F：推 Destery : 砸$也許有機會 但成本高昂 商用恐怕無人買單 01/18 21:47
3F：推 ssarc : 日本供應零件居然有那麼多 01/18 21:48
4F：推 g27834618 : 中吹可不是這樣想喔 01/18 21:48
5F：推 stocktonty : 日本還是關鍵材料劑的供應商 01/18 21:49
6F：推 kobebrian : 趕上「現在的」 也只是「有可能」 01/18 21:51
7F：推 atlaswhz : 中吹疑美:日本半導體業被美廢掉 01/18 21:54
8F：推 cfceo : 我記得前兩年是給張圖紙設計圖，中國都做不出來耶 01/18 21:55
9F：推 cfceo : 現在都能出口白菜價光刻機，歐美半導體強一點好嗎？ 01/18 21:57
10F：→ cfceo : 領先個50年好嗎，不然門檻太低很容易跨越啊 01/18 21:57
11F：推 bj45566 : 你肯定是這討論串中最瞭解 EUV 的專家 01/18 22:14
12F：→ bj45566 : 感謝詳細解說 01/18 22:15
13F：推 kickflip : 同意 01/18 22:16
14F：推 b1izzard2000: 專業 01/18 22:19
15F：→ WEYNI : 中國目前策略 穩定7奈米良率 尋求開發設備 01/18 22:20
16F：推 wallowes : 是指15年後追到2025年的水準嗎? 01/18 22:22
17F：→ bnn : 問就是華為買單 讚讚讚 快蓋一百座 01/18 22:23
18F：推 lovehandle : 這篇才是理性討論 01/18 22:25
19F：推 hanmas : 好像很專業 01/18 22:28
20F：推 URayJJ : 還附上出處 請收下我的膝蓋 01/18 22:28
21F：推 BaGaJohn5566: 專業 給推 01/18 22:45
22F：推 RegOwl : 推專業 01/18 22:47
23F：推 reason11 : 專業推 01/18 22:59
24F：推 roseritter : 推 01/18 23:01
25F：→ ActionII : Intel 這樣敗也是花了好幾年才變成這樣…要超車真 01/18 23:02
26F：→ ActionII : 的要花時間 01/18 23:02
27F：→ ActionII : Zen1 都是十年前發表的東西了 01/18 23:02
28F：→ ActionII : 追趕先行者本來就是數十年累積的事 01/18 23:04
29F：推 FFFAAA : 實力差距確實存在一定距離，但如果零件基本上都是大 01/18 23:04
30F：→ FFFAAA : 陸出廠，外地組裝設定再銷售給大陸台灣，那是不是大 01/18 23:04
31F：→ FFFAAA : 陸COPY 能力再度顯現，那天突破精進再慢慢追上這可 01/18 23:04
32F：→ FFFAAA : 能發生？例如電池？ 01/18 23:04
33F：推 mytropicfish: 推 01/18 23:16
34F：推 chanceperson: 看不懂只好推了 01/18 23:25
35F：推 alau : 中國最大的塞子-小學生，不先幹掉是沒有希望的 01/18 23:53
36F：推 kendiv : 問題就是對手也會進步 在不能偷的情況下 差距只會越 01/19 00:06
37F：→ kendiv : 拉越大 01/19 00:06
38F：推 FishYui : 專業給推，實際上應該也是如此，尖端科技並不存在 01/19 00:20
39F：→ FishYui : 彎道超車，就算舉全國之力狠砸錢也不是一兩年就能 01/19 00:20
40F：→ FishYui : 超越的事 01/19 00:20
41F：推 Blastodern : 笑死，這篇太中肯完全看不到中吹，可能在跟統戰部 01/19 00:23
42F：→ Blastodern : 要文案吧。 01/19 00:23
43F：推 HiuAnOP : 現在是拼的是 歐美日台分工合作vs中國自行研抄襲 01/19 00:41
44F：→ HiuAnOP : 看哪一個集團進步速度會比較快 01/19 00:41
45F：推 HiuAnOP : 人口其實不是科研進步最大重點 就算要比歐美日加起 01/19 00:44
46F：→ HiuAnOP : 來人也夠多了，還有印度人才庫呢 01/19 00:44
47F：推 sgaor : 這篇文章也點出大家常問到的，為何荷蘭商要聽美國 01/19 00:44
48F：→ sgaor : 的 01/19 00:44
49F：→ sgaor : 但這些內容在晶片戰爭都有啊，我以為討論gg看完晶 01/19 00:45
50F：→ sgaor : 片戰爭是基本操作 01/19 00:45
51F：→ maple76226 : 論文大師這篇沒辦法噴或吹某些國，只好去上面那篇 01/19 00:49
52F：→ maple76226 : 下面 01/19 00:50
53F：推 fg008kimo : 但我發現中國的策略就是做出你的7.8成 就可以吹了 01/19 02:01
54F：→ fg008kimo : 他們目標是做出7.8成效能 然後吹到跟你不相上下 再 01/19 02:01
55F：→ fg008kimo : 用價格戰玩到你倒 或是把你打到壓力很大 01/19 02:02
56F：→ fg008kimo : 電池 太陽能 晶圓成熟製程可以這樣玩 高階的可能會 01/19 02:03
57F：→ fg008kimo : 先拆解大模組去一一攻 先抄襲然後改良 接近你 01/19 02:03
58F：→ loko : 花10-15年趕上現在的ASML 那東西也只是垃圾 01/19 02:17
59F：推 konichiwaman: 來一個有料的發文了 01/19 02:52
60F：推 fancyrex : 推 01/19 03:06
61F：推 lofiktb : 認真分析推 01/19 03:21
62F：推 APC : 某國問題是一直想彎道超車，但搞到經濟淚潸潸 01/19 04:11
63F：推 UniQue3oNe : advance node沒有什麼七八成這種事，沒有相近的良 01/19 04:41
64F：→ UniQue3oNe : 率就是賠到脫褲子 01/19 04:41
65F：→ mangobing : 光源已經不是Cymer囉 01/19 06:55
66F：推 sansiaman : 專業分析推 01/19 07:16
67F：推 hune : 當年狂吹的2025中國製造 如今... 01/19 07:39
68F：推 hardworking : 推專業 01/19 07:56
69F：推 camellala : 專業給推 01/19 08:25
70F：推 shi0520 : 漢微科已經被ASML併購了 01/19 08:35
71F：推 turgnev : 2050年會達到2025年的水準 01/19 09:04
72F：推 Instance : 推 01/19 09:25
73F：推 WarGod5566 : 即使波長對了，還有光束品質要處理 01/19 09:26
74F：推 lcy317 : 什麼東西都7-8成 到了良率上就變成1-2成了 01/19 09:34
75F：→ lcy317 : 尖端科技是技術的累積 沒有什麼彎道超車 01/19 09:35
76F：→ lcy317 : 中國的強項是改良 泛應用化 你要說難聽就抄襲 複製 01/19 09:35
77F：→ lcy317 : 光是蔡司那個鏡頭反射鏡 全世界就沒有第二個廠商 01/19 09:37
78F：推 elliotpepe : 專業 01/19 09:42
79F：推 AirLee : 領先10年就夠了，除以二讓你5年追上，五年內台積營 01/19 09:43
80F：→ AirLee : 收都賺翻了 01/19 09:43
81F：推 Tohkachan : 先進製程 良率差一點成本可不是差一點 成熟能這樣搞 01/19 10:10
82F：推 yannicklatte: 推 01/19 10:10
83F：→ Tohkachan : 先進不可能 但只是要滿足中國內部科技國防需求也許 01/19 10:10
84F：→ Tohkachan : 夠吧 01/19 10:10
85F：→ dickyatw111 : ---中國常在說：dpp路線，終將走向滅亡 01/19 10:12
86F：推 BarryDale : 花10-15年只能趕上2025年的西方水準，到時候已經是 01/19 10:12
87F：→ BarryDale : 2035年了，2035年時用2025時的EUV也是沒用 01/19 10:12
88F：→ BarryDale : 中國的可商業運用被卡在7奈米幾乎是確定的事情了 01/19 10:14
89F：推 yoshian886 : 美國那幾家技術流出這麼多，只鞭asml根本搞笑 01/19 10:15
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91F：→ AirLee : 要搞這麼大個機台就真的不是那麼簡單 01/19 10:41
92F：推 nn1975 : 中國倒了最好 吹了幾十年 還是一堆土霸 01/19 10:42
93F：推 YJJ : 精密中的精密 01/19 11:03
94F：推 sky121 : 打開第一篇就看到專家 推 01/19 11:16
95F：推 lyxiang : 專業推 01/19 12:03
96F：推 rize1216 : 專業分析推一個 01/19 12:19
97F：推 s213092921 : 你說的很好，但是2025中國製造 01/19 12:37
98F：推 u3330727 : 這才是比較接近實際的看法，畢竟實驗室到量產過程 01/19 12:55
99F：→ u3330727 : 還有很多問題要克服 01/19 12:55
100F：推 super1315566: 推推 01/19 16:44
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105F：→ potionx : 有無限的資金幹嘛去做一個賺有限錢的東西 邏輯壞死 01/20 14:10
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107F：推 ImMACACO : 專業 01/20 23:04