作者rosemary0401 (rosemary)
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标题Re: [新闻] ASML强敌来了！陆「EUV关键技术」大突破
时间Sat Jan 18 21:40:21 2025
※ 引述《scitamehtam (新竹恐牙狼)》之铭言：
: ASML强敌来了！陆「EUV关键技术」大突破 下一步国产曝光机？
: https://www.chinatimes.com/realtimenews/20250118000073-260410
: 哈尔滨工业大学（哈工大）近日宣布，已成功研发出13.5奈米极紫外光（EUV）光源技术
: ，打破此领域由美国企业垄断的局面，也为大陆的国产EUV曝光机制造点亮了一线曙光。
: 此消息一出，对於掌握EUV曝光机主导地位的ASML（艾司摩尔）来说始料未及，该公司先
: 前曾强调，EUV机台的开发仰赖超过40个国家、数百家供应商技术的汇集。
发表一些自己的看法，给大家批判。
先说我自己的结论：
中国在科研领域确实有一些成果，但和ASML的差距仍然是非常的巨大。
ASML的CEO之前说『和西方的差距有10-15年』其实并不夸张。[1]
首先哈工大并没有像ASML一样，完全地掌握EUV光源技术，
这个甚至很多中国的自媒体都有提到。
EUV的光源系统有多条技术路线：
1. 同步辐射
2. FEL
3. LPP
4. DPP
5. LDP
其中LPP和DPP是比较有商用可能性的，目前ASML的EUV光源系统采用的LPP技术路线，
而哈工大取的进展的是ASML曾经舍弃的DPP路线，
而且这仅仅是在DPP的研究上取得一些成果，距离可以商用，并且用於量产，
可能还需要很长的一段时间。
所以我们才说哈工大并没有完全地掌握EUV光源技术。
那中国要掌握EUV光源技术大概需要多久呢？
我们可以参考过去技术突破的一些案例。
比方说几周前大日本印刷DNP有技术突破，开发出给High-NA EUV用的1奈米光罩[2]，
但同时也提到预计在2027年才能用於2奈米的量产，并在2030年才能用於1奈米的量产。
又比方说在2023年底，佳能开发出号称可以用於2奈米压印(NIL)设备，
但目前仅锴侠用於15奈米的NAND快闪记忆体制造上，
并且计划在2025年用於5奈米的NAND快闪记忆体制造， [3]
并没有提到NIL什麽时候可以用在2奈米的量产。
所以一个技术的突破，到可以商用量产，花个3-5年，那是很正常的。
更何况哈工大取的进展的是ASML曾经舍弃的DPP技术路线，
还不是目前正在用的LPP技术路线。
如果中国能花5年追上ASML目前的EUV光源技术，那已经是很了不起的成就了。
但那也仅仅是突破光源技术而已......
EUV曝光机有5000+个供应商，数10万个零部件，光源技术仅仅是EUV的核心零件之一。
EUV曝光机的核心零件包含但不限於：
光源系统：美国Cymer，日本Gigaphoton
镜头：德国蔡司
光罩：美国Photronics，日本DNP
双工作台：日本东京威力科创
真空仪器仪表：美国BrooksAutomation
离子注入机套件：美国AxcelisTechnologies
…等等
台湾的汉微科和信邦电子也都有提供零部件给ASML。
而这些提供零部件给ASML的公司，很多都是该领域的一方之霸。
所以人们才说EUV曝光机是皇冠上的珍珠，是人类智慧的结晶，
很难由一个国家单独制造出来。
当然，这5000+个供应商，中国未必全部都要攻克，
也许有些零件不在制裁清单上面，用买的也可以。
如果中国在5-10年内做出一台EUV的样机，
我并不会感到太讶异(但从样机到可以量产，可能还要再花个3-5年)
因为尼康就曾在2007-2008年左右就做出EUV的样机， [4]
只因研发成本昂贵，又无法在商业上取的进展，最终放弃了EUV的开发。
我的结论是，中国在科研领域确实有一些成果，但和ASML的差距仍然是非常的巨大。
ASML的CEO之前说『和西方的差距有10-15年』其实并不夸张。[1]
如果中国有无限的资金，花个10-15年赶上现在的ASML，也许真有可能。
Reference:
[1]
https://reurl.cc/5DEV8z
[2]
https://reurl.cc/M6G9Rk
[3]
https://biglegsrabbit.blogspot.com/2025/01/nil.html
[4]
https://www.163.com/dy/article/HVFS9PFI0553OSM3.html
--
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1F：推 good5755 : 可是我记得前几年网路上都在吹2025超越欧美耶 01/18 21:46
2F：推 Destery : 砸$也许有机会 但成本高昂 商用恐怕无人买单 01/18 21:47
3F：推 ssarc : 日本供应零件居然有那麽多 01/18 21:48
4F：推 g27834618 : 中吹可不是这样想喔 01/18 21:48
5F：推 stocktonty : 日本还是关键材料剂的供应商 01/18 21:49
6F：推 kobebrian : 赶上「现在的」 也只是「有可能」 01/18 21:51
7F：推 atlaswhz : 中吹疑美:日本半导体业被美废掉 01/18 21:54
8F：推 cfceo : 我记得前两年是给张图纸设计图，中国都做不出来耶 01/18 21:55
9F：推 cfceo : 现在都能出口白菜价光刻机，欧美半导体强一点好吗？ 01/18 21:57
10F：→ cfceo : 领先个50年好吗，不然门槛太低很容易跨越啊 01/18 21:57
11F：推 bj45566 : 你肯定是这讨论串中最了解 EUV 的专家 01/18 22:14
12F：→ bj45566 : 感谢详细解说 01/18 22:15
13F：推 kickflip : 同意 01/18 22:16
14F：推 b1izzard2000: 专业 01/18 22:19
15F：→ WEYNI : 中国目前策略 稳定7奈米良率 寻求开发设备 01/18 22:20
16F：推 wallowes : 是指15年後追到2025年的水准吗? 01/18 22:22
17F：→ bnn : 问就是华为买单 赞赞赞 快盖一百座 01/18 22:23
18F：推 lovehandle : 这篇才是理性讨论 01/18 22:25
19F：推 hanmas : 好像很专业 01/18 22:28
20F：推 URayJJ : 还附上出处 请收下我的膝盖 01/18 22:28
21F：推 BaGaJohn5566: 专业 给推 01/18 22:45
22F：推 RegOwl : 推专业 01/18 22:47
23F：推 reason11 : 专业推 01/18 22:59
24F：推 roseritter : 推 01/18 23:01
25F：→ ActionII : Intel 这样败也是花了好几年才变成这样…要超车真 01/18 23:02
26F：→ ActionII : 的要花时间 01/18 23:02
27F：→ ActionII : Zen1 都是十年前发表的东西了 01/18 23:02
28F：→ ActionII : 追赶先行者本来就是数十年累积的事 01/18 23:04
29F：推 FFFAAA : 实力差距确实存在一定距离，但如果零件基本上都是大 01/18 23:04
30F：→ FFFAAA : 陆出厂，外地组装设定再销售给大陆台湾，那是不是大 01/18 23:04
31F：→ FFFAAA : 陆COPY 能力再度显现，那天突破精进再慢慢追上这可 01/18 23:04
32F：→ FFFAAA : 能发生？例如电池？ 01/18 23:04
33F：推 mytropicfish: 推 01/18 23:16
34F：推 chanceperson: 看不懂只好推了 01/18 23:25
35F：推 alau : 中国最大的塞子-小学生，不先干掉是没有希望的 01/18 23:53
36F：推 kendiv : 问题就是对手也会进步 在不能偷的情况下 差距只会越 01/19 00:06
37F：→ kendiv : 拉越大 01/19 00:06
38F：推 FishYui : 专业给推，实际上应该也是如此，尖端科技并不存在 01/19 00:20
39F：→ FishYui : 弯道超车，就算举全国之力狠砸钱也不是一两年就能 01/19 00:20
40F：→ FishYui : 超越的事 01/19 00:20
41F：推 Blastodern : 笑死，这篇太中肯完全看不到中吹，可能在跟统战部 01/19 00:23
42F：→ Blastodern : 要文案吧。 01/19 00:23
43F：推 HiuAnOP : 现在是拼的是 欧美日台分工合作vs中国自行研抄袭 01/19 00:41
44F：→ HiuAnOP : 看哪一个集团进步速度会比较快 01/19 00:41
45F：推 HiuAnOP : 人口其实不是科研进步最大重点 就算要比欧美日加起 01/19 00:44
46F：→ HiuAnOP : 来人也够多了，还有印度人才库呢 01/19 00:44
47F：推 sgaor : 这篇文章也点出大家常问到的，为何荷兰商要听美国 01/19 00:44
48F：→ sgaor : 的 01/19 00:44
49F：→ sgaor : 但这些内容在晶片战争都有啊，我以为讨论gg看完晶 01/19 00:45
50F：→ sgaor : 片战争是基本操作 01/19 00:45
51F：→ maple76226 : 论文大师这篇没办法喷或吹某些国，只好去上面那篇 01/19 00:49
52F：→ maple76226 : 下面 01/19 00:50
53F：推 fg008kimo : 但我发现中国的策略就是做出你的7.8成 就可以吹了 01/19 02:01
54F：→ fg008kimo : 他们目标是做出7.8成效能 然後吹到跟你不相上下 再 01/19 02:01
55F：→ fg008kimo : 用价格战玩到你倒 或是把你打到压力很大 01/19 02:02
56F：→ fg008kimo : 电池 太阳能 晶圆成熟制程可以这样玩 高阶的可能会 01/19 02:03
57F：→ fg008kimo : 先拆解大模组去一一攻 先抄袭然後改良 接近你 01/19 02:03
58F：→ loko : 花10-15年赶上现在的ASML 那东西也只是垃圾 01/19 02:17
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60F：推 fancyrex : 推 01/19 03:06
61F：推 lofiktb : 认真分析推 01/19 03:21
62F：推 APC : 某国问题是一直想弯道超车，但搞到经济泪潸潸 01/19 04:11
63F：推 UniQue3oNe : advance node没有什麽七八成这种事，没有相近的良 01/19 04:41
64F：→ UniQue3oNe : 率就是赔到脱裤子 01/19 04:41
65F：→ mangobing : 光源已经不是Cymer罗 01/19 06:55
66F：推 sansiaman : 专业分析推 01/19 07:16
67F：推 hune : 当年狂吹的2025中国制造 如今... 01/19 07:39
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69F：推 camellala : 专业给推 01/19 08:25
70F：推 shi0520 : 汉微科已经被ASML并购了 01/19 08:35
71F：推 turgnev : 2050年会达到2025年的水准 01/19 09:04
72F：推 Instance : 推 01/19 09:25
73F：推 WarGod5566 : 即使波长对了，还有光束品质要处理 01/19 09:26
74F：推 lcy317 : 什麽东西都7-8成 到了良率上就变成1-2成了 01/19 09:34
75F：→ lcy317 : 尖端科技是技术的累积 没有什麽弯道超车 01/19 09:35
76F：→ lcy317 : 中国的强项是改良 泛应用化 你要说难听就抄袭 复制 01/19 09:35
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83F：→ Tohkachan : 先进不可能 但只是要满足中国内部科技国防需求也许 01/19 10:10
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85F：→ dickyatw111 : ---中国常在说：dpp路线，终将走向灭亡 01/19 10:12
86F：推 BarryDale : 花10-15年只能赶上2025年的西方水准，到时候已经是 01/19 10:12
87F：→ BarryDale : 2035年了，2035年时用2025时的EUV也是没用 01/19 10:12
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96F：推 rize1216 : 专业分析推一个 01/19 12:19
97F：推 s213092921 : 你说的很好，但是2025中国制造 01/19 12:37
98F：推 u3330727 : 这才是比较接近实际的看法，毕竟实验室到量产过程 01/19 12:55
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100F：推 super1315566: 推推 01/19 16:44
101F：推 sgeneral : 这篇好有说服力 赞 01/19 20:05
102F：推 minazukimaya: 可是报导里说粒子加速产生光 这是同步幅射啊... 01/19 23:04
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107F：推 ImMACACO : 专业 01/20 23:04