課程名稱 P102206 半導體積體電路製程 開課時數 30小時 上課費用 一般價7,000元 特約廠商、3人以上團報6,000元 峡查詢特約商明錄 峡立即加入特約廠商 五人以上團報價5,000元 開課日期 102年7月22日至8月20日 每週一、二晚間18:30~21:30 開課地點 交通大學交映樓教室 地址：新竹市大學路1001號 （教室地點於課前，以行前通知另行公佈） 招生對象 半導體產業暨相關系統業者之在職人士或有相關技術需求者 結訓規定 本課程應配合事項：簽到/簽退*1、課程測驗*2 *1：核發「結訓證書」依據為出席率8成以上（依據簽到退表資料） *2：「課程測驗」評量分數60分以上，以是非或選擇題方式進行。 課程目標 希望藉由本課程的講授，使學員能對積體電路技術中各種半導體製程原理、設 備、薄膜特性，有一全面與深入的瞭解。透過此課程的學習將有助於學員奠定日後從事半 導體電子相關科技產業之良好基礎。 課程大綱 1.Introduction 2. Wafer Cleaning 3.Thermal Oxidation 4.Doping Technologies ( Diffusion/ Ion Implantation) 5.Chemical Vapor Deposition (CVD) 6.Physical Vapor Deposition (PVD) and Metallization 7.Photolithography 8.Etching Technologies 9.Planarization and Chemical Mechanical Polish (CMP) 10.Process Integration 建議先備知識：「大學普通物理、 (基礎)電子學(一)、基礎半導體元件物理」 授課師資 劉柏村 教授 峡現職：交通大學 光電工程學系 教授兼系所長 峡經歷：國家奈米元件實驗室 生化/光電組組長、研發工程師 峡專長：光電平面顯示器技術、半導體積體電路製程、記憶體元件技術、矽半導體電子元 件技術、薄膜電晶體元件技術、可撓式(軟性)顯示技術、新穎半導體材料與電子元件技術 、系統面板技術 課程網站:http://submic.ee.nctu.edu.tw/curriculum/curriculum.php?Sn=404 --

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