课程名称 P102206 半导体积体电路制程 开课时数 30小时 上课费用 一般价7,000元 特约厂商、3人以上团报6,000元 峡查询特约商明录 峡立即加入特约厂商 五人以上团报价5,000元 开课日期 102年7月22日至8月20日 每周一、二晚间18:30~21:30 开课地点 交通大学交映楼教室 地址：新竹市大学路1001号 （教室地点於课前，以行前通知另行公布） 招生对象 半导体产业暨相关系统业者之在职人士或有相关技术需求者 结训规定 本课程应配合事项：签到/签退*1、课程测验*2 *1：核发「结训证书」依据为出席率8成以上（依据签到退表资料） *2：「课程测验」评量分数60分以上，以是非或选择题方式进行。 课程目标 希望藉由本课程的讲授，使学员能对积体电路技术中各种半导体制程原理、设 备、薄膜特性，有一全面与深入的了解。透过此课程的学习将有助於学员奠定日後从事半 导体电子相关科技产业之良好基础。 课程大纲 1.Introduction 2. Wafer Cleaning 3.Thermal Oxidation 4.Doping Technologies ( Diffusion/ Ion Implantation) 5.Chemical Vapor Deposition (CVD) 6.Physical Vapor Deposition (PVD) and Metallization 7.Photolithography 8.Etching Technologies 9.Planarization and Chemical Mechanical Polish (CMP) 10.Process Integration 建议先备知识：「大学普通物理、 (基础)电子学(一)、基础半导体元件物理」 授课师资 刘柏村 教授 峡现职：交通大学 光电工程学系 教授兼系所长 峡经历：国家奈米元件实验室 生化/光电组组长、研发工程师 峡专长：光电平面显示器技术、半导体积体电路制程、记忆体元件技术、矽半导体电子元 件技术、薄膜电晶体元件技术、可挠式(软性)显示技术、新颖半导体材料与电子元件技术 、系统面板技术 课程网站:http://submic.ee.nctu.edu.tw/curriculum/curriculum.php?Sn=404 --

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