作者dry123 (dry123)
看板Physics
標題[問題] 電容直流的崩潰曲線
時間Sun Aug 25 21:04:13 2019
https://imgur.com/a/W4OOlQ9
這個截圖中,左邊的XY散布圖是電容器的直流IV圖
他是連續給直流電壓後,量測不同電壓下的電容器電流值
藍色線明顯看出有三個區域
Vg>-6V、-6V>Vg>-15V和Vg<-15V三個
其中-6V>Vg>-15V是軟崩潰(SBD),是穿隧效應造成的可逆的崩潰
和Vg<-15V是硬崩潰(HBD),是介電層原子被電離造成不可逆的崩潰
但想請問,Vg>-6V的這一個區域的非常小的漏電是何種機制造成的
謝謝!
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1F:推 wohtp: 穿隧一定一直都有,不是在-6V才突然打開開關 08/26 02:23
2F:→ wohtp: 然後,你確定那個不是noise嗎? 08/26 02:24
3F:推 hank780420: 直接穿隧只要oxide夠薄一定都有 還有一些可能跟oxide 08/27 20:57
4F:→ hank780420: 內部的defect有關 是因為那些defect讓電流可以過去 08/27 20:58
5F:→ hank780420: 不過看那個scale....電表跟儀器架設沒搞好的話基本上 08/27 20:58
6F:→ hank780420: 是雜訊的機會更大一點 想量nA以下的電流隨便亂架不可 08/27 20:59
7F:→ hank780420: 能量的到樣品真正的訊號 08/27 20:59
8F:推 jjvh: 首先以好的電阻跟好的電表來說,那段不會這麼曲折而是平穩的 09/05 03:18
9F:→ jjvh: 。接著以不好的電表來說,那段就是他量不到東西,所以只有本 09/05 03:18
10F:→ jjvh: 身的背景雜訊。 09/05 03:18