作者warnerwu (warner)
看板Physics
標題[問題] 半導體製造與溫 濕度的關係?
時間Mon Apr 30 21:26:42 2012
教授出了一個作業，關於半導體的製程環境，
但不是很了解為何半導體的生產環境需要嚴格的
控制溫度和濕度
網路上查到的資料說 半導體在趨近於零K時，電阻為無窮大，
隨著溫度增加釋放出自由電子，電阻因而下降，導電度提高，
而又有資料說明半導體會隨著溫度過高而提高其電阻，
請問是否半導體電阻值會隨著溫度升高先降低而後又提高呢?
這樣半導體是不是會有一個電阻值最低的溫度範圍啊?
還有一個問題是濕度會如何影響半導體的生產過程呢?
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◆ From: 111.240.115.198
※ 編輯: warnerwu 來自: 111.240.115.198 (04/30 21:27)
※ 編輯: warnerwu 來自: 111.240.115.198 (04/30 21:28)
1F：推 jerry78424:先了解半導體元件是怎麼製作出來的.. 04/30 22:01
2F：推 CJWUKNIGHT:我只知道柴氏長晶法 04/30 22:22
3F：推 VicLien:在高低溫的時候 溼度高低會不會有影響 曝光多了一滴水怎辦 04/30 22:40
4F：→ VicLien:更別說一堆都要抽真空... 04/30 22:41
5F：推 colin90149:其實我不太清楚你要問的是半導體的製程，還是元件 04/30 23:47
6F：推 jianhung:本質半導體在低溫及高溫電阻有負TCR，中溫是正的 05/01 00:22
7F：→ jianhung:重參雜之半導體一開始具正TCR，高溫時會轉負 05/01 00:24
8F：→ jianhung:以上是就Si而言，低溫高溫是多少就要看文獻了 05/01 00:26
9F：推 YJM1106:微影製程裡 幾乎每一段溫度都會影響(例：質傳速率) 05/01 00:52
10F：推 nevinyrrals:溫度對蝕刻製程有很大的影響 05/01 00:55
11F：推 aucourant:我試過半導體溫度升高時電阻是下降的和金屬相反的 05/03 01:59
12F：推 YJM1106:你標題問製造過程 內容寫元件對溫度的特性 你想問什麼？ 05/03 07:00