作者p22654886 (IOO)
看板Physics
標題[請益]壓力與 plasma arcing
時間Tue Apr 3 11:46:26 2012
想請問一下各位神人們,在相同power(非相同電壓),plasma arcing
是在較高壓力容易發生,還是較低壓力下容易發生,因為就小弟所知,
plasma的起始電壓(breakdown voltage)會隨壓力下降而降低,而且根據
plasma I-V curve arcing是發生在abnormal glow之後,所以低壓下,
breakdown voltage較低(相較於高壓)是否較易arcing
可是大多數的文獻都提到是越高壓越容易arcing,是否我有那些地方有弄錯
還請神人們指教
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