作者LScouple (找到出路)
看板Physics
標題[問題] Si ohmic contact
時間Wed Nov 25 17:24:21 2009
請問ㄧ下
如果要和p-si行成歐姆接觸的金屬
哪一種金屬是最容易的?
Pt or Al or Au 看到好像這幾種
大概熱退火的溫度和時間大概的範圍?
對不起小弟是製程新手,請多包含
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.102.175
1F：→ ccitmdl:聽說有很多相關的PAPER可以看~~ 11/25 19:56