作者narutoo (RORO)
看板Physics
標題[問題] 關於緩衝層
時間Tue Jul 21 23:11:10 2009
請問一下
像氮化鎵低溫緩衝層的作用機制和原理是什麼
實在找不到有關其原理的相關資料~~
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 125.225.40.5
1F：推 YJM1106:化工板的回答不能滿足你嗎= =? 07/21 23:26
2F：→ narutoo:我是比較想要知道比較詳細的原理 07/21 23:31
3F：→ narutoo:比如在低溫成長是為了希望緩衝層有怎樣的性質 07/21 23:32
4F：→ narutoo:所以想在物理版問問各位高手 07/21 23:33
5F：→ narutoo:希望大家見諒 07/21 23:33
6F：→ yeahbo:用"nucleation layer"去查查看吧... 07/22 00:01
7F：→ yeahbo:我記得是，先低溫成長一層非常薄的GaN，停止成長並加熱， 07/22 00:06
8F：→ yeahbo:使其聚成許多小島狀晶種，再繼續成長，GaN就會順著島狀晶種 07/22 00:08
9F：→ yeahbo:成長，當小島長成大島，會開始接合，接合處會留下很多 07/22 00:09
10F：→ yeahbo:threading dislocation，吸收掉sapphire與GaN的晶格不匹配 07/22 00:11
11F：→ narutoo:謝謝 我會再找找資料 07/22 13:08