作者forlaughter (翔大)
看板PhD
標題[問題] 關於ZnO鍛燒
時間Sun Sep 22 15:39:28 2013
最近關於ZnO的鍛燒一直困擾著我= =
一開始是用ALD process長ZnO,
之後加熱到550度C去進行鍛燒,有試過拉高或是降低升溫速率,
兩者都會造成ZnO的形變,
請問一下有甚麼辦法改善嗎??或是有推薦關於陶瓷材料鍛燒的書嗎?
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.46.234
1F：推 Narcissuss:你的基板耐得住550嗎 zno 550不太會有問題 他氧化物耶 09/22 16:31
2F：→ Narcissuss:除非你薄到幾奈米 這樣才有可能融化 09/22 16:32
3F：→ lexjiang:ZnO 溫度烤太高會掛掉 10/01 00:45