作者forlaughter (翔大)
看板PhD
标题[问题] 关於ZnO锻烧
时间Sun Sep 22 15:39:28 2013
最近关於ZnO的锻烧一直困扰着我= =
一开始是用ALD process长ZnO,
之後加热到550度C去进行锻烧,有试过拉高或是降低升温速率,
两者都会造成ZnO的形变,
请问一下有甚麽办法改善吗??或是有推荐关於陶瓷材料锻烧的书吗?
谢谢
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◆ From: 140.114.46.234
1F：推 Narcissuss:你的基板耐得住550吗 zno 550不太会有问题 他氧化物耶 09/22 16:31
2F：→ Narcissuss:除非你薄到几奈米 这样才有可能融化 09/22 16:32
3F：→ lexjiang:ZnO 温度烤太高会挂掉 10/01 00:45