作者naohcl (自由的左腳)
看板PhD
標題[問題] 請問有沒有板大知道 12吋wafer C O檢測
時間Mon Jul 8 09:35:58 2013
請問有沒有板大知道 如何檢測12吋wafer上面的C O含量
謝謝
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.32.85
1F：推 alturiak:XPS 不過不知道你是想看表面吸附還是內含雜質 07/08 17:45
2F：→ naohcl:請問哪裡有可以使用 謝謝 07/08 18:35
3F：推 whc760123:業界來這裡是問不到的 07/08 18:43
4F：→ Tantalus:閎康 07/08 21:40
5F：推 hockeyplayer:XPS看表面O ,C並不準確，即使高真空依然會有O,C 吸附 07/09 20:42
6F：→ hockeyplayer:如果看wafer內層可透過ion etching後再檢測 07/09 20:44
7F：推 hockeyplayer:學界113，114材料系貴儀都有，業界閎康 07/09 20:46