作者naohcl (自由的左脚)
看板PhD
标题[问题] 请问有没有板大知道 12寸wafer C O检测
时间Mon Jul 8 09:35:58 2013
请问有没有板大知道 如何检测12寸wafer上面的C O含量
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.32.85
1F：推 alturiak:XPS 不过不知道你是想看表面吸附还是内含杂质 07/08 17:45
2F：→ naohcl:请问哪里有可以使用 谢谢 07/08 18:35
3F：推 whc760123:业界来这里是问不到的 07/08 18:43
4F：→ Tantalus:闳康 07/08 21:40
5F：推 hockeyplayer:XPS看表面O ,C并不准确，即使高真空依然会有O,C 吸附 07/09 20:42
6F：→ hockeyplayer:如果看wafer内层可透过ion etching後再检测 07/09 20:44
7F：推 hockeyplayer:学界113，114材料系贵仪都有，业界闳康 07/09 20:46