作者sourthern (南方)
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標題[問題] 機台有漏氣，如何抓漏？
時間Mon Jul 2 13:32:24 2012
目前實驗室中的cvd系統，管線有漏氣，目前在抓漏，
但實在是無任何頭緒...
管線配置如下：
1.鋼瓶--->2.氣體儲存槽--->3.MFC--->4.腔體
每段之間都有針閥，漏氣的地方確定是2~ 4之間，
已經將(2.)的所有氣體都抽完，照理說，應該是沒
有氣體了，可以每當打開3~ 4間的閥時，腔體壓力
又會上升，漏率換算約（0.02 SCCM）!
大家有不錯得廠商可以介紹抓漏嗎？或者可以給我
一些建議，謝謝～
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.25.106
1F：→ DavisX:看借不借的到真空測漏儀 07/02 14:52
2F：→ sourthern:原本猜內漏，但是儲存槽氣體都抽完了，還是漏! 07/02 17:58
3F：→ sourthern:所以應該是外漏! 07/02 18:01
4F：→ sptadao:肥皂水 07/02 18:05
5F：推 faway:在各個接合處噴丙酮看看 看噴到哪裡壓力會上升 07/02 18:11
6F：→ faway:另外，你有用Turbo Pump 還是只有機械幫浦在轉? 07/02 18:12
7F：推 Evences:如果系統能灌氦氣 可以考慮借氦氣偵測儀 我以前是過這招 07/03 08:24
8F：推 faway:還有你的Flange連接是用O-ring還是用Gasket ? 07/03 16:24
9F：→ sourthern:Gasket! 07/04 06:37
10F：推 kiwen:先用丙酮 07/04 11:08
11F：→ sourthern:管線禁塗丙酮，已借到He測漏儀 07/04 12:45
12F：推 teeo:氦氣測漏 07/06 23:38