作者sourthern (南方)
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标题[问题] 机台有漏气，如何抓漏？
时间Mon Jul 2 13:32:24 2012
目前实验室中的cvd系统，管线有漏气，目前在抓漏，
但实在是无任何头绪...
管线配置如下：
1.钢瓶--->2.气体储存槽--->3.MFC--->4.腔体
每段之间都有针阀，漏气的地方确定是2~ 4之间，
已经将(2.)的所有气体都抽完，照理说，应该是没
有气体了，可以每当打开3~ 4间的阀时，腔体压力
又会上升，漏率换算约（0.02 SCCM）!
大家有不错得厂商可以介绍抓漏吗？或者可以给我
一些建议，谢谢～
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.25.106
1F：→ DavisX:看借不借的到真空测漏仪 07/02 14:52
2F：→ sourthern:原本猜内漏，但是储存槽气体都抽完了，还是漏! 07/02 17:58
3F：→ sourthern:所以应该是外漏! 07/02 18:01
4F：→ sptadao:肥皂水 07/02 18:05
5F：推 faway:在各个接合处喷丙酮看看 看喷到哪里压力会上升 07/02 18:11
6F：→ faway:另外，你有用Turbo Pump 还是只有机械帮浦在转? 07/02 18:12
7F：推 Evences:如果系统能灌氦气 可以考虑借氦气侦测仪 我以前是过这招 07/03 08:24
8F：推 faway:还有你的Flange连接是用O-ring还是用Gasket ? 07/03 16:24
9F：→ sourthern:Gasket! 07/04 06:37
10F：推 kiwen:先用丙酮 07/04 11:08
11F：→ sourthern:管线禁涂丙酮，已借到He测漏仪 07/04 12:45
12F：推 teeo:氦气测漏 07/06 23:38