作者chuanjung (chuanjung)
看板PhD
標題[問題] 請問SiGe合金通常是用什麼蝕刻液呢
時間Fri Feb 10 14:08:46 2012
大家好，最近做實驗做到矽鍺合金，想把它蝕刻掉
又不知道要利用那種蝕刻液才能把它吃掉，是否有大大可以分享呢
如果使用KOH的話，這樣可以嗎?
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◆ From: 140.114.120.206
1F：推 adihuang:KOH, TMAH我記得都可以，只是rate和 純silicon不一樣 02/11 12:16
2F：→ chuanjung:thx 02/11 14:47
3F：推 dehyuga:NH3應該也可以 02/24 00:42