作者chuanjung (chuanjung)
看板PhD
标题[问题] 请问SiGe合金通常是用什麽蚀刻液呢
时间Fri Feb 10 14:08:46 2012
大家好，最近做实验做到矽锗合金，想把它蚀刻掉
又不知道要利用那种蚀刻液才能把它吃掉，是否有大大可以分享呢
如果使用KOH的话，这样可以吗?
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◆ From: 140.114.120.206
1F：推 adihuang:KOH, TMAH我记得都可以，只是rate和 纯silicon不一样 02/11 12:16
2F：→ chuanjung:thx 02/11 14:47
3F：推 dehyuga:NH3应该也可以 02/24 00:42