作者nameci (dizzy)
看板Non-Graduate
標題工研院開發SWNT定位成長技術
時間Sat Sep 13 16:39:38 2003
工研院昨(28)日宣布,繼去年製造國內第一顆P型與N型奈米碳管場效電晶體(CNT FET)
後,電子所與化工所合作成功開發出國內首創的單層奈米碳管(SWNT)定位成長技術,可
在4至8吋矽晶片基板上製作,具備與積體電路(IC)整合的潛力,宣告奈米級電子世紀來
臨電子所奈米電子元件技術組組長蔡銘進表示,現有奈米碳管場效電晶體製作技術大多採
塗佈方式,長成的奈米碳管為隨機分佈,位置無法準確控制,對需求元件高良率的產業應
用。蔡銘進指出,近年國際先進研發團隊都朝發展可控制奈米碳管位置的製程,其中以定
位成長技術最有進展。工研院單層奈米碳管定位成長新製程開發出的碳管,具金屬性或半
導體性,在作為高效能金屬連接線,及作為奈米碳管電晶體陣列用途,具可行性。電子所
所長徐爵民表示,在IC製程微縮的趨勢下,以矽晶圓為基礎的元件製程,逐漸面臨光學與
物理學上的技術瓶頸,以及巨額研發投資的壓力。各先進國家都嚐試以各種奈米級分子製
作各式的奈米電晶體,以便能在相同晶片面積內放入比傳統多出數百倍以上的電晶體數目
。
(本文摘自:92.08.29 經濟日報)
>>more (建國理工電子報N0.46)
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