作者ipeilu (ipei)
看板Nanofan
標題[情報] new SU-8 2002
時間Fri May 15 23:03:22 2009
配了一小罐(下禮拜會配多一點)
今天邱胖測了ET4000
大概是 0.8 micro~ 2.2 micro 的厚度
如果有人假日要去做製程
可以參考以下參數
旋塗介電層 5sec 500rpm 之後
30sec 2000 rpm = 2.2 micro
3000 = 1.9
3500 = 1.9
4000 = 1.7
4500 = 0.8~1.0
軟考 5min 90度C
曝光 5+5=10 sec
硬考 5min 90度C
祝實驗順利!!!
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pumping你要 pump it 阿~"~
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.168.168.54
1F：推 Jinuse:配大罐的以後要再量一次唷 140.113.125.16 05/15 23:11
2F：推 newman814:不要靠感覺亂配唷 揪咪^.< 122.116.177.84 05/15 23:34
3F：推 hunter2000:不順利拉...誠徵會使用曝光機人員一名. 118.169.82.11 05/16 00:06
4F：推 jun31:我啦!我會我會!! 118.171.120.49 05/16 13:29
5F：推 Jinuse:你還沒有資格耶 你只能進去 跟廢物一樣 140.113.125.16 05/16 22:24
6F：推 hunter2000:我武功被廢了...QQ 118.169.73.76 05/16 22:58
7F：推 Jinuse:我不是說你 我是說囧強 140.113.125.16 05/16 23:09
8F：推 jun31:被罵了!哭哭! 123.195.36.183 05/18 01:05