作者ipeilu (ipei)
看板Nanofan
标题[情报] new SU-8 2002
时间Fri May 15 23:03:22 2009
配了一小罐(下礼拜会配多一点)
今天邱胖测了ET4000
大概是 0.8 micro~ 2.2 micro 的厚度
如果有人假日要去做制程
可以参考以下参数
旋涂介电层 5sec 500rpm 之後
30sec 2000 rpm = 2.2 micro
3000 = 1.9
3500 = 1.9
4000 = 1.7
4500 = 0.8~1.0
软考 5min 90度C
曝光 5+5=10 sec
硬考 5min 90度C
祝实验顺利!!!
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pumping你要 pump it 阿~"~
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 218.168.168.54
1F：推 Jinuse:配大罐的以後要再量一次唷 140.113.125.16 05/15 23:11
2F：推 newman814:不要靠感觉乱配唷 揪咪^.< 122.116.177.84 05/15 23:34
3F：推 hunter2000:不顺利拉...诚徵会使用曝光机人员一名. 118.169.82.11 05/16 00:06
4F：推 jun31:我啦!我会我会!! 118.171.120.49 05/16 13:29
5F：推 Jinuse:你还没有资格耶 你只能进去 跟废物一样 140.113.125.16 05/16 22:24
6F：推 hunter2000:我武功被废了...QQ 118.169.73.76 05/16 22:58
7F：推 Jinuse:我不是说你 我是说囧强 140.113.125.16 05/16 23:09
8F：推 jun31:被骂了!哭哭! 123.195.36.183 05/18 01:05