作者Reinhard0712 (化石)
看板Nanofan
標題[設備] sputter幾個常用參數
時間Tue Nov 25 19:44:42 2008
我叫同學去工研院幫我抄來的
製程壓力 5 mtorr Ar
功率 100W (但不知道是DC還是RF) 工研院的兩台power都跟我們實驗室的一樣
製程時間 30分鐘
單位是安格斯窗
Cu 5000
Ag 10800
Al 3650
Au 8800
Ti 1900
W 1950
Ni 3250
Pt 4500
這是要交給光復的作業 也供大家參考
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◆ From: 140.113.21.168
※ 編輯: Reinhard0712 來自: 140.113.21.168 (11/25 19:45)