作者Reinhard0712 (化石)
看板Nanofan
标题[设备] sputter几个常用参数
时间Tue Nov 25 19:44:42 2008
我叫同学去工研院帮我抄来的
制程压力 5 mtorr Ar
功率 100W (但不知道是DC还是RF) 工研院的两台power都跟我们实验室的一样
制程时间 30分钟
单位是安格斯窗
Cu 5000
Ag 10800
Al 3650
Au 8800
Ti 1900
W 1950
Ni 3250
Pt 4500
这是要交给光复的作业 也供大家参考
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※ 编辑: Reinhard0712 来自: 140.113.21.168 (11/25 19:45)