作者Matsusaka (期待未來)
看板Nanofan
標題[心得] 測新的ITO蝕刻液結果
時間Thu May 18 22:23:03 2006
先講過去幾次的蝕刻好了
林筱薇使用新的ITO(清大)+新的蝕刻液(不加溫 30min)=線寬跟10um還5um的gap機乎沒跑
邱胖使用舊的ITO(萊德)+新的蝕刻液(不加溫 50min)=有的好有的壞
今天我和大頭還有謝塞再度進黃光拚命
謝塞使用舊的ITO(萊德)+新的蝕刻液(加溫 3min 55度C)=過蝕刻
大頭使用舊的ITO(萊德)+新的蝕刻液(加溫 2min+30sec 55度C)=過蝕刻
我使用舊的ITO(萊德)+新的蝕刻液(加溫 2min 55度C)=過蝕刻
謝塞使用舊的ITO(萊德)+新的蝕刻液(加溫 3min 50度C)=過蝕刻
我使用舊的ITO(萊德)+新的蝕刻液(加溫 6min 40度C)=一半過蝕刻一半蝕刻的很漂亮
以上溫度會升升降降 因為控溫器林筱薇在用
一氣之下我們決定採用邱胖的方式不加溫
大頭+我+謝塞一共四片舊的ITO(萊德)+50min
大頭的EWOD試片=兩個導通 其他蝕刻的很漂亮
我的試片=一半過蝕刻 一半蝕刻的很漂亮(很明顯)
謝塞的試片=大部份沒蝕刻完
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以上結果表示
舊的ITO(萊德)厚度非常不均 連同一大片的ITO的厚度都有差別
更別說是不同大片的了
所以有再好的蝕刻液 沒有厚度一致的ITO是沒辦蝕刻的漂亮的
新的清大ITO用新的蝕刻液線寬大概跑1um
清大ITO用純HCl線寬大概跑5到7um
萊德ITO用新的蝕刻液線寬大概跑1到2um(但會過蝕刻或是蝕刻不夠)
萊德ITO用純HCl線寬大概跑10到15um
金這大概是我的心得整理吧.........
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剩下的就是用控溫器來試
新的跟舊的ITO看會不會好一點了....
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◆ From: 140.113.186.101
※ 編輯: Matsusaka 來自: 140.113.186.101 (05/18 22:25)
1F：推 stellaluna:好像繞口令喔@@ 211.74.234.196 05/18 22:26
2F：推 Jinuse:這一點都不MAKE SENSE 140.113.89.16 05/19 00:41
3F：推 Jinuse:同樣的蝕刻液可以使用的片數也要寫進去吧 140.113.89.16 05/19 01:24
4F：推 Jinuse:有用stir嗎 140.113.89.16 05/19 01:53
5F：推 Jinuse:有用HMDS嗎 140.113.89.16 05/19 01:54