作者Matsusaka (期待未来)
看板Nanofan
标题[心得] 测新的ITO蚀刻液结果
时间Thu May 18 22:23:03 2006
先讲过去几次的蚀刻好了
林筱薇使用新的ITO(清大)+新的蚀刻液(不加温 30min)=线宽跟10um还5um的gap机乎没跑
邱胖使用旧的ITO(莱德)+新的蚀刻液(不加温 50min)=有的好有的坏
今天我和大头还有谢塞再度进黄光拚命
谢塞使用旧的ITO(莱德)+新的蚀刻液(加温 3min 55度C)=过蚀刻
大头使用旧的ITO(莱德)+新的蚀刻液(加温 2min+30sec 55度C)=过蚀刻
我使用旧的ITO(莱德)+新的蚀刻液(加温 2min 55度C)=过蚀刻
谢塞使用旧的ITO(莱德)+新的蚀刻液(加温 3min 50度C)=过蚀刻
我使用旧的ITO(莱德)+新的蚀刻液(加温 6min 40度C)=一半过蚀刻一半蚀刻的很漂亮
以上温度会升升降降 因为控温器林筱薇在用
一气之下我们决定采用邱胖的方式不加温
大头+我+谢塞一共四片旧的ITO(莱德)+50min
大头的EWOD试片=两个导通 其他蚀刻的很漂亮
我的试片=一半过蚀刻 一半蚀刻的很漂亮(很明显)
谢塞的试片=大部份没蚀刻完
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以上结果表示
旧的ITO(莱德)厚度非常不均 连同一大片的ITO的厚度都有差别
更别说是不同大片的了
所以有再好的蚀刻液 没有厚度一致的ITO是没办蚀刻的漂亮的
新的清大ITO用新的蚀刻液线宽大概跑1um
清大ITO用纯HCl线宽大概跑5到7um
莱德ITO用新的蚀刻液线宽大概跑1到2um(但会过蚀刻或是蚀刻不够)
莱德ITO用纯HCl线宽大概跑10到15um
金这大概是我的心得整理吧.........
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剩下的就是用控温器来试
新的跟旧的ITO看会不会好一点了....
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◆ From: 140.113.186.101
※ 编辑: Matsusaka 来自: 140.113.186.101 (05/18 22:25)
1F：推 stellaluna:好像绕口令喔@@ 211.74.234.196 05/18 22:26
2F：推 Jinuse:这一点都不MAKE SENSE 140.113.89.16 05/19 00:41
3F：推 Jinuse:同样的蚀刻液可以使用的片数也要写进去吧 140.113.89.16 05/19 01:24
4F：推 Jinuse:有用stir吗 140.113.89.16 05/19 01:53
5F：推 Jinuse:有用HMDS吗 140.113.89.16 05/19 01:54