※ 引述《Jinuse (Come what may!!!)》之銘言： : 明天早上9點進去 : 大家準備一下吧 : 新的濾毒罐在辦公室 : 要用ITO的 會是新的大片 我明天會早一點過去破 : function generater在我這邊 : 要去的推一下文吧 http://groups.mrl.uiuc.edu/dvh/pdf/AZ5214E.pdf （真光罩） AZ 5214E 曝光劑量70 mJ/cm2，70/40 = 2 sec，2+5=7 sec，設7秒即可 AZ 4620 200 mJ/cm2，200/40 = 5 sec，5+5=10 sec，設10秒即可 （假光罩）=（真光罩）x 1.5倍劑量（AZ 5214可以到2倍，4620嚴禁過量） 5214E 是很方便的光阻，而且可以當負光阻用（要另外進行正轉負） 4620 已經是過期的產品了，現在推出的9620 不會發泡，可以取代4620 不過價格是4620的三倍 其他步驟一樣 蝕刻： Au 1000A 以蝕刻液1:1 diluted with dI water約略吃17 sec （10sec就要拿起來看，吃光了會看到灰色的Cr，如果吃乾淨了就停止，不要硬撐17sec） Cr 100A 以蝕刻液（Cr7T）1:3 diluted with dI water約略吃30 sec （10sec就要拿起來看，吃光了會看到透明的載玻片，如果吃乾淨了就停止，不要硬撐） 吃完去量一下，正常來說是沒有電阻的 要不然就是Cr沒有吃乾淨 沒什麼技巧，多玩幾次就很有sense了 參數可以自己玩玩看 成功的話，就是一整個美啊 --

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