作者stellaluna (天下无双)
看板Nanofan
标题Re: 博爱黄光实验团
时间Wed Nov 30 23:42:33 2005
※ 引述《Jinuse (Come what may!!!)》之铭言:
: 明天早上9点进去
: 大家准备一下吧
: 新的滤毒罐在办公室
: 要用ITO的 会是新的大片 我明天会早一点过去破
: function generater在我这边
: 要去的推一下文吧
http://groups.mrl.uiuc.edu/dvh/pdf/AZ5214E.pdf
(真光罩)
AZ 5214E 曝光剂量70 mJ/cm2,70/40 = 2 sec,2+5=7 sec,设7秒即可
AZ 4620 200 mJ/cm2,200/40 = 5 sec,5+5=10 sec,设10秒即可
(假光罩)=(真光罩)x 1.5倍剂量(AZ 5214可以到2倍,4620严禁过量)
5214E 是很方便的光阻,而且可以当负光阻用(要另外进行正转负)
4620 已经是过期的产品了,现在推出的9620 不会发泡,可以取代4620
不过价格是4620的三倍
其他步骤一样
蚀刻:
Au 1000A 以蚀刻液1:1 diluted with dI water约略吃17 sec
(10sec就要拿起来看,吃光了会看到灰色的Cr,如果吃乾净了就停止,不要硬撑17sec)
Cr 100A 以蚀刻液(Cr7T)1:3 diluted with dI water约略吃30 sec
(10sec就要拿起来看,吃光了会看到透明的载玻片,如果吃乾净了就停止,不要硬撑)
吃完去量一下,正常来说是没有电阻的
要不然就是Cr没有吃乾净
没什麽技巧,多玩几次就很有sense了
参数可以自己玩玩看
成功的话,就是一整个美啊
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 203.67.188.73
※ 编辑: stellaluna 来自: 203.67.188.73 (11/30 23:43)
※ 编辑: stellaluna 来自: 203.67.188.73 (11/30 23:52)
1F:推 mountainking:大头好厉害~~ 12/01 08:26