※ 引述《Jinuse (Come what may!!!)》之铭言： : 明天早上9点进去 : 大家准备一下吧 : 新的滤毒罐在办公室 : 要用ITO的 会是新的大片 我明天会早一点过去破 : function generater在我这边 : 要去的推一下文吧 http://groups.mrl.uiuc.edu/dvh/pdf/AZ5214E.pdf （真光罩） AZ 5214E 曝光剂量70 mJ/cm2，70/40 = 2 sec，2+5=7 sec，设7秒即可 AZ 4620 200 mJ/cm2，200/40 = 5 sec，5+5=10 sec，设10秒即可 （假光罩）=（真光罩）x 1.5倍剂量（AZ 5214可以到2倍，4620严禁过量） 5214E 是很方便的光阻，而且可以当负光阻用（要另外进行正转负） 4620 已经是过期的产品了，现在推出的9620 不会发泡，可以取代4620 不过价格是4620的三倍 其他步骤一样 蚀刻： Au 1000A 以蚀刻液1:1 diluted with dI water约略吃17 sec （10sec就要拿起来看，吃光了会看到灰色的Cr，如果吃乾净了就停止，不要硬撑17sec） Cr 100A 以蚀刻液（Cr7T）1:3 diluted with dI water约略吃30 sec （10sec就要拿起来看，吃光了会看到透明的载玻片，如果吃乾净了就停止，不要硬撑） 吃完去量一下，正常来说是没有电阻的 要不然就是Cr没有吃乾净 没什麽技巧，多玩几次就很有sense了 参数可以自己玩玩看 成功的话，就是一整个美啊 --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 203.67.188.73 ※ 编辑: stellaluna 来自: 203.67.188.73 (11/30 23:43) ※ 编辑: stellaluna 来自: 203.67.188.73 (11/30 23:52)