作者tree43 (~行~動~派~)
看板NTUGIEOE
標題Re: [請益] 關於新無塵中的表面輪廓儀？
時間Sun Apr 6 17:10:17 2008
※ 引述《dsd (破碎虛空)》之銘言：
: 我想用來看有階梯結構的樣本，起伏在兩微米左右，可是掃不出來，是否有人試過呢，感
: 覺要換根較細的針，謝謝
兩微米一定可以掃的阿...
你可能是有地方弄錯了吧？
而且為何你覺得要換較細的針呢？ 是因為你的圖案很窄讓針無法深入底部嗎？
如果圖案夠寬 兩微米不難掃的喔～
再討論 :)
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.17.54
1F：推 dsd:我的圖案是在矽晶圓上立起之長方形結構，深寬比為5:2謝謝 04/07 13:26