作者tree43 (~行~动~派~)
看板NTUGIEOE
标题Re: [请益] 关於新无尘中的表面轮廓仪？
时间Sun Apr 6 17:10:17 2008
※ 引述《dsd (破碎虚空)》之铭言：
: 我想用来看有阶梯结构的样本，起伏在两微米左右，可是扫不出来，是否有人试过呢，感
: 觉要换根较细的针，谢谢
两微米一定可以扫的阿...
你可能是有地方弄错了吧？
而且为何你觉得要换较细的针呢？ 是因为你的图案很窄让针无法深入底部吗？
如果图案够宽 两微米不难扫的喔～
再讨论 :)
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◆ From: 140.112.17.54
1F：推 dsd:我的图案是在矽晶圆上立起之长方形结构，深宽比为5:2谢谢 04/07 13:26