作者gwliao (gwliao)
看板NTUGIEE_EDA
標題[研究] 誰對Lithography有興趣?
時間Thu Jul 16 17:18:22 2009
在這個暑假，我想找時間開個讀書會，講關於這方面的東西。
範圍不只是EDA相關的，所有背景知識都會包含。
學會的人，你會感受到DFM的發展。要找對題目，就方便多了。
東西很多，絕對不是一次就可以教完。
所以可能會用掉幾次時間。
有興趣的人，請跟我說一下哪些時間有空。(推文 or e-mail)
7/17~19, 我回屏東，不能上網。
我周一就才會處理讀書會的事。
注意: 沒上過VLSI導論的話，會聽的生不如死。
預計內容會有:
Scaling equations
Aerial imaging
Resist imaging*
E-D Forest
Signamization
Alignment and overlay*
Proximity printing systems*
Projection printing systems (目前使用的系統)
Phase-shifting mask (PSM)
Off-axis illumination (OAI)
Optical proximity correction (OPC)
Immersion lithography
EUV lithography
Double patterning
E-beam lithography*
*: 表示可能不講。
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還有時間的話，我會講一些粗淺的Parallel programming和ILP/NLP。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.233.31
※ 編輯: gwliao 來自: 140.112.233.31 (07/16 17:23)
1F：推 bluetai:畢業生可以參加嗎? XD 07/16 17:36
2F：推 webberlucky7:我要參加 07/16 17:38
3F：→ gwliao:不論畢業在學, 只要想參加，都可以~~~ 07/16 17:41
4F：推 Crazying:我我我（如果我還在的話 Orz） 07/16 19:52
5F：推 kaie819:+1 我也想參加~ 07/16 20:19
6F：推 Iamia:我也要~ 07/16 20:35
7F：推 supermark:可以錄影或遠距教學嗎? XD 07/16 20:35
8F：推 kraistlin:盡量參加~ 借教室可以找我 :p 07/16 20:59
9F：推 hoolank:+1 07/16 22:18
10F：推 yuko703:(舉手) 07/16 22:51
11F：推 bluenvoy:+1 07/17 17:46
12F：推 aknow:+1 07/17 20:20
13F：推 sion0814:新生可以+1嗎 07/17 20:57
14F：推 afterforever:+1 07/17 23:06
15F：推 yellowfishie:+1 07/18 09:10
16F：推 arious:遠距教學+1 ^^ 07/19 11:02
17F：推 Donnie:錄影+1 ^^ 07/21 20:19