作者gwliao (gwliao)
看板NTUGIEE_EDA
标题[研究] 谁对Lithography有兴趣?
时间Thu Jul 16 17:18:22 2009
在这个暑假，我想找时间开个读书会，讲关於这方面的东西。
范围不只是EDA相关的，所有背景知识都会包含。
学会的人，你会感受到DFM的发展。要找对题目，就方便多了。
东西很多，绝对不是一次就可以教完。
所以可能会用掉几次时间。
有兴趣的人，请跟我说一下哪些时间有空。(推文 or e-mail)
7/17~19, 我回屏东，不能上网。
我周一就才会处理读书会的事。
注意: 没上过VLSI导论的话，会听的生不如死。
预计内容会有:
Scaling equations
Aerial imaging
Resist imaging*
E-D Forest
Signamization
Alignment and overlay*
Proximity printing systems*
Projection printing systems (目前使用的系统)
Phase-shifting mask (PSM)
Off-axis illumination (OAI)
Optical proximity correction (OPC)
Immersion lithography
EUV lithography
Double patterning
E-beam lithography*
*: 表示可能不讲。
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还有时间的话，我会讲一些粗浅的Parallel programming和ILP/NLP。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.233.31
※ 编辑: gwliao 来自: 140.112.233.31 (07/16 17:23)
1F：推 bluetai:毕业生可以参加吗? XD 07/16 17:36
2F：推 webberlucky7:我要参加 07/16 17:38
3F：→ gwliao:不论毕业在学, 只要想参加，都可以~~~ 07/16 17:41
4F：推 Crazying:我我我（如果我还在的话 Orz） 07/16 19:52
5F：推 kaie819:+1 我也想参加~ 07/16 20:19
6F：推 Iamia:我也要~ 07/16 20:35
7F：推 supermark:可以录影或远距教学吗? XD 07/16 20:35
8F：推 kraistlin:尽量参加~ 借教室可以找我 :p 07/16 20:59
9F：推 hoolank:+1 07/16 22:18
10F：推 yuko703:(举手) 07/16 22:51
11F：推 bluenvoy:+1 07/17 17:46
12F：推 aknow:+1 07/17 20:20
13F：推 sion0814:新生可以+1吗 07/17 20:57
14F：推 afterforever:+1 07/17 23:06
15F：推 yellowfishie:+1 07/18 09:10
16F：推 arious:远距教学+1 ^^ 07/19 11:02
17F：推 Donnie:录影+1 ^^ 07/21 20:19