2008年10月15日 台積電(TSMC)與荷蘭商MAPPER公司日前共同宣佈簽署協議，依此協議MAPPER公司將出貨第 一台12吋無光罩多重電子束微影設備給台積電，作為製程開發與元件試製之用。此設備提 供台積電進一步研究22奈米及更先進製程中，以多重電子束作為微影技術選項之一的機會 。 MAPPER公司總執行長Christopher Hegarty表示：「我們在2007年9月首度展示無光罩大量 平行電子束微影技術，在不久的將來，我們將推出首批適用於12吋積體電路製造的設備。 」 台積公司研究發展副總經理孫元成博士表示：「為了能讓22奈米及更先進積體電路製造有 機會在符合成本效益下完成，我們將就MAPPER公司的解決方案進行測試，看能否達成此一 目標。我們將在最新的機台上驗證它在製造上的可行性。」 MAPPER公司的微影技術運用了大量平行電子束(量產的設備將高達13,000條電子束)，直接 將電路圖刻寫到晶圓上，可省去目前微影技術及機台設備所需的昂貴光罩。由於不需要運 用到光罩，MAPPER公司所開發的微影設備可望在未來大幅降低積體電路製造成本，並且提 升其晶圓生產量。 目前的微影設備採用光學顯影方式，在晶圓上產生比人類頭髮直徑還要細一百倍以上的精 細電路圖像。在這樣的過程中，需要運用到印有晶片電路藍圖的光罩，再將此電路藍圖成 像到塗佈有感光液的晶圓上(與沖洗照片時，利用相紙上的感光層從底片成像的步驟相似) 。然而，這樣的光學顯影方式在下世代積體電路製造上，面臨了成本急遽上揚以及解析度 極限的雙重考驗。 http://www.eettaiwan.com/ART_8800548038_480202_NT_a60fa00c.HTM -- ◣ ◢ .. ◥S --

※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.48.60 ※ 編輯: yellowfishie 來自: 140.112.48.60 (11/06 10:39)