作者ilovechi (只愛我的琪)
看板NTUCE
標題[問題] 請問一個蝕刻的問題~~~
時間Mon Jan 17 16:47:35 2005
如題，sample 的結構如下
鋁
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silicon
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SiO2
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silicon
請問如何把鋁給蝕刻掉~~~大概2micro左右~~
用弱酸嗎~~
因為這是有要做圖案所以有些鋁要吃掉~~有些不用~~~
也就是說上面還會塗光阻跟曝光~~~
所以想請問有啥材料可以將鋁吃掉可是不會蝕刻到光阻及silicon
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