作者ilovechi (只爱我的琪)
看板NTUCE
标题[问题] 请问一个蚀刻的问题~~~
时间Mon Jan 17 16:47:35 2005
如题，sample 的结构如下
铝
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silicon
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SiO2
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silicon
请问如何把铝给蚀刻掉~~~大概2micro左右~~
用弱酸吗~~
因为这是有要做图案所以有些铝要吃掉~~有些不用~~~
也就是说上面还会涂光阻跟曝光~~~
所以想请问有啥材料可以将铝吃掉可是不会蚀刻到光阻及silicon
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