想請教版上專業的大大們, 有沒有使用杜邦EKC922的經驗?? 最近遇到了EKC922去光阻製程(EKC→Acetone→IPA)同時會damage三五族(Ga/As/Al/In)的ep i材料 但做了很多測試都還找不到真正的原因 測試EKC的流量和溫度對於epi damage會有貢獻 但在製程的使用範圍內對epi damage產生的阻值變異影響不大 可是就是會隨機發生對epi damage的嚴重影響 已經確定這個問題與wafer epi的相關性不高 因此才在想說會不會是EKC→Acetone→IPA的製程中發生了什麼反應造成的問題?? 因此想請教專業的前輩們 對於這樣的去光阻製程是否知道會發生什麼對epi damage的機制可以參考??(例如化學反應o r電化學反應等) 先跪謝大家了 --

※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 123.192.84.124 (臺灣) ※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/NEMS/M.1650103323.A.1B7.html