想请教版上专业的大大们, 有没有使用杜邦EKC922的经验?? 最近遇到了EKC922去光阻制程(EKC→Acetone→IPA)同时会damage三五族(Ga/As/Al/In)的ep i材料 但做了很多测试都还找不到真正的原因 测试EKC的流量和温度对於epi damage会有贡献 但在制程的使用范围内对epi damage产生的阻值变异影响不大 可是就是会随机发生对epi damage的严重影响 已经确定这个问题与wafer epi的相关性不高 因此才在想说会不会是EKC→Acetone→IPA的制程中发生了什麽反应造成的问题?? 因此想请教专业的前辈们 对於这样的去光阻制程是否知道会发生什麽对epi damage的机制可以参考??(例如化学反应o r电化学反应等) 先跪谢大家了 --

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