作者dreamphoenix (普通人)
看板NEMS
標題[問題] 鐵靶材濺鍍異常
時間Wed Jan 12 16:37:43 2022
各位先進好
小弟最近使用鐵靶材進行 RF濺鍍時
電壓變得異常低 然後會亂跳
以往大概150w就800~900V左右
最近幾次用 它先上升到200多V後就下降到50~60V 之後 RF的儀器就怪怪的不給運行了
改用DC power則是電壓異常高
好像沒有接觸到一樣
靶材送回原廠後 他們看了覺得沒有debounding的情況
因此建議我把靶材磨薄一點 （猜測可能磁場不夠）
原本是3mmCu+2mmFe
現在把鐵磨成1.5mm
另外請我都改用DC power 並把argon流量拉高
請問大家還有什麼可以做的嗎
或者有遇過類似問題嗎
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1F：推 sunchloveann: 你放靶材的gun有賣沒有污染 01/12 17:04
2F：推 sunchloveann: 如果有污染 就會這樣 建議要清 01/12 17:04
3F：推 sunchloveann: 另外一個問題是你的 電漿產生器自動 01/12 17:06
4F：推 sunchloveann: match是否有正確。如果沒有 要手動調 01/12 17:07
5F：推 sunchloveann: 在不行就送修 01/12 17:08
6F：→ dreamphoenix: 清理的話大概怎麼做呀 01/12 18:37
7F：→ dreamphoenix: 我使用的是北微底下的卓越大樓實驗室 01/12 18:37
8F：→ dreamphoenix: 他們都是用吸塵器吸內部而已 01/12 18:37
9F：推 sunchloveann: 請找吳先生。請他處理或請他叫廠商處理 01/13 11:57
10F：推 sunchloveann: 通常是放靶材的gun有問題 01/13 11:59
11F：→ dreamphoenix: 好 感謝 我再請吳先生聯絡廠商 01/13 16:30