作者dreamphoenix (普通人)
看板NEMS
标题[问题] 铁靶材溅镀异常
时间Wed Jan 12 16:37:43 2022
各位先进好
小弟最近使用铁靶材进行 RF溅镀时
电压变得异常低 然後会乱跳
以往大概150w就800~900V左右
最近几次用 它先上升到200多V後就下降到50~60V 之後 RF的仪器就怪怪的不给运行了
改用DC power则是电压异常高
好像没有接触到一样
靶材送回原厂後 他们看了觉得没有debounding的情况
因此建议我把靶材磨薄一点 （猜测可能磁场不够）
原本是3mmCu+2mmFe
现在把铁磨成1.5mm
另外请我都改用DC power 并把argon流量拉高
请问大家还有什麽可以做的吗
或者有遇过类似问题吗
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1F：推 sunchloveann: 你放靶材的gun有卖没有污染 01/12 17:04
2F：推 sunchloveann: 如果有污染 就会这样 建议要清 01/12 17:04
3F：推 sunchloveann: 另外一个问题是你的 电浆产生器自动 01/12 17:06
4F：推 sunchloveann: match是否有正确。如果没有 要手动调 01/12 17:07
5F：推 sunchloveann: 在不行就送修 01/12 17:08
6F：→ dreamphoenix: 清理的话大概怎麽做呀 01/12 18:37
7F：→ dreamphoenix: 我使用的是北微底下的卓越大楼实验室 01/12 18:37
8F：→ dreamphoenix: 他们都是用吸尘器吸内部而已 01/12 18:37
9F：推 sunchloveann: 请找吴先生。请他处理或请他叫厂商处理 01/13 11:57
10F：推 sunchloveann: 通常是放靶材的gun有问题 01/13 11:59
11F：→ dreamphoenix: 好 感谢 我再请吴先生联络厂商 01/13 16:30