作者joehsu831212 (op Joe)
看板NEMS
標題[問題] 氮化鎵奈米柱濕蝕刻問題
時間Thu Mar 21 19:03:26 2019
各位好～
小弟在做氮化鎵(GaN)的奈米柱。
首先用金屬當mask形成直徑大約200nm的圓盤陣列，再去打ICP-RIE形成類柱狀結構。
接下來再去做濕蝕刻(AZ400K)，小弟已經把奈米柱的側壁利用濕蝕刻形成垂直面，算是初步的成功，接下來遇到問題，以氮化鎵晶面的特性，濕蝕刻完應該能形成六角柱的形狀，但是小弟改了好幾個參數還是無法形成六角柱，只能形成圓柱。
請問有前輩做過類似的實驗，可以給小弟一點建議讓小弟的奈米柱晶面出來嗎？
-----
Sent from JPTT on my iPhone
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 42.72.32.188
※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/NEMS/M.1553166209.A.55B.html
1F：推 JunDT2008: 直徑太大? 04/12 09:22
兩百奈米感覺直徑蠻小了耶 網路上paper很多都micro等級
2F：推 xa380x: 我好像認識你 CCY？ 04/23 01:46
※ 編輯: joehsu831212 (223.137.39.76), 05/04/2019 19:22:56
3F：推 thulongwu: 換個蝕刻液試試 05/28 12:08