作者joehsu831212 (op Joe)
看板NEMS
标题[问题] 氮化镓奈米柱湿蚀刻问题
时间Thu Mar 21 19:03:26 2019
各位好～
小弟在做氮化镓(GaN)的奈米柱。
首先用金属当mask形成直径大约200nm的圆盘阵列，再去打ICP-RIE形成类柱状结构。
接下来再去做湿蚀刻(AZ400K)，小弟已经把奈米柱的侧壁利用湿蚀刻形成垂直面，算是初步的成功，接下来遇到问题，以氮化镓晶面的特性，湿蚀刻完应该能形成六角柱的形状，但是小弟改了好几个参数还是无法形成六角柱，只能形成圆柱。
请问有前辈做过类似的实验，可以给小弟一点建议让小弟的奈米柱晶面出来吗？
-----
Sent from JPTT on my iPhone
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 42.72.32.188
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1553166209.A.55B.html
1F：推 JunDT2008: 直径太大? 04/12 09:22
两百奈米感觉直径蛮小了耶 网路上paper很多都micro等级
2F：推 xa380x: 我好像认识你 CCY？ 04/23 01:46
※ 编辑: joehsu831212 (223.137.39.76), 05/04/2019 19:22:56
3F：推 thulongwu: 换个蚀刻液试试 05/28 12:08