作者wateres (五樓愛自宮(#‵︿′ㄨ))
看板NEMS
標題[問題] 關於硼擴散製程
時間Sun Jan 20 21:22:09 2019
各位前輩大家好
小弟最近在做硼擴散製程
可是做出來的結果復合一直無法改善
有查過文章說高濃度的硼離子會有很高的復合
所以也試過在擴散完後用蝕刻法蝕刻表面高濃度層
想請問各位前輩有沒有什麼小弟沒弄清楚的地方
還請大家指教
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1F：推 JunDT2008: 你先複習氣體擴散速率、溶液、蒸氣壓、PV=nRT等訓練出 02/01 22:27
2F：→ JunDT2008: 思考模式，再思考複合機制 02/01 22:29
3F：→ JunDT2008: ^搭配 02/01 22:29
4F：→ JunDT2008: 才有機會靠自己想出原因 02/01 22:31
5F：→ JunDT2008: 要解決製程中原理問題，只能靠自己 02/01 22:32