作者wateres (五楼爱自宫(#‵︿′ㄨ))
看板NEMS
标题[问题] 关於硼扩散制程
时间Sun Jan 20 21:22:09 2019
各位前辈大家好
小弟最近在做硼扩散制程
可是做出来的结果复合一直无法改善
有查过文章说高浓度的硼离子会有很高的复合
所以也试过在扩散完後用蚀刻法蚀刻表面高浓度层
想请问各位前辈有没有什麽小弟没弄清楚的地方
还请大家指教
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