作者s869225 (茶碗蒸)
看板NEMS
標題[問題] lift off問題
時間Thu Dec 6 18:53:31 2018
各位前輩學長好
小弟在lift off上遇到了點問題
就是在做震洗的時候
在同一片基板下，有些pattern會被震洗掉，有些卻又不會
明明是同樣的製程條件為什麼會有這樣的情況呢
跟基板的均勻度會有關嗎？
使用的基板為玻璃 光阻AZ1500 使用E-BEAM蒸鍍 材料為Ti/Cu 500A/2000A
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1F：推 saxlan: 我的經驗是不要震比較好，之前也常震壞pattern........ 12/11 15:12
2F：推 cupidboy: 金屬附著不好 鍍金屬前有清洗動作？顯影是否乾淨？金屬 12/12 01:19
3F：→ cupidboy: 是否有污染？ 12/12 01:19
4F：→ cupidboy: 跟基本均勻度應該是無關 12/12 01:20
5F：推 astushi: 你的倒角開不好所以才要震 12/18 09:34
6F：→ s869225: 感謝各位的回答 我再慢慢抓原因好了 12/18 22:34