作者s869225 (茶碗蒸)
看板NEMS
标题[问题] lift off问题
时间Thu Dec 6 18:53:31 2018
各位前辈学长好
小弟在lift off上遇到了点问题
就是在做震洗的时候
在同一片基板下，有些pattern会被震洗掉，有些却又不会
明明是同样的制程条件为什麽会有这样的情况呢
跟基板的均匀度会有关吗？
使用的基板为玻璃 光阻AZ1500 使用E-BEAM蒸镀 材料为Ti/Cu 500A/2000A
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1F：推 saxlan: 我的经验是不要震比较好，之前也常震坏pattern........ 12/11 15:12
2F：推 cupidboy: 金属附着不好 镀金属前有清洗动作？显影是否乾净？金属 12/12 01:19
3F：→ cupidboy: 是否有污染？ 12/12 01:19
4F：→ cupidboy: 跟基本均匀度应该是无关 12/12 01:20
5F：推 astushi: 你的倒角开不好所以才要震 12/18 09:34
6F：→ s869225: 感谢各位的回答 我再慢慢抓原因好了 12/18 22:34