作者hg790727 (請叫我句點王)
看板NEMS
標題[問題]Adhesion與barrier顏色問題
時間Fri Nov 16 01:38:56 2018
小弟在fab上班,有一個疑問想問
在製程中barrier跟Adhesion與抗反射層的成分同樣是TiN,但顏色不一樣
barrier的顏色為金黃色,而Adhesion跟抗反射層的顏色為深紫色
想請問可能是何種因素造成此差異?
如果拿鍍抗反射層的材料去鍍barrier應該是不行的?因為性質不同
懇請賜教!
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1F：推 cupidboy: 我猜是 TiNx的x的差異色澤不同代表結構不同 Ti和N的比 11/16 21:14
2F：→ cupidboy: 例調整 11/16 21:14
3F：推 funkeinstein: 厚度各是多少? 11/17 05:43
4F：推 huges0111: 因為厚度關係造成反射光的建設性/破壞性干涉，可查一下 12/03 09:41
5F：→ huges0111: 薄膜干涉相關資料 12/03 09:41