作者hg790727 (请叫我句点王)
看板NEMS
标题[问题]Adhesion与barrier颜色问题
时间Fri Nov 16 01:38:56 2018
小弟在fab上班,有一个疑问想问
在制程中barrier跟Adhesion与抗反射层的成分同样是TiN,但颜色不一样
barrier的颜色为金黄色,而Adhesion跟抗反射层的颜色为深紫色
想请问可能是何种因素造成此差异?
如果拿镀抗反射层的材料去镀barrier应该是不行的?因为性质不同
恳请赐教!
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1F：推 cupidboy: 我猜是 TiNx的x的差异色泽不同代表结构不同 Ti和N的比 11/16 21:14
2F：→ cupidboy: 例调整 11/16 21:14
3F：推 funkeinstein: 厚度各是多少? 11/17 05:43
4F：推 huges0111: 因为厚度关系造成反射光的建设性/破坏性干涉，可查一下 12/03 09:41
5F：→ huges0111: 薄膜干涉相关资料 12/03 09:41