作者OhMyAlex (學同我者強)
看板NEMS
標題[問題] 有沒有推薦的玻璃光罩廠商?
時間Sun Apr 22 00:19:07 2018
各位好
想請問大家有沒有推薦的玻璃光罩廠商?
一般而言我們實驗室的光罩都是請交大光罩製作
通常需要耗費五周
但現在急著需要無法等這麼久
圖案是邊長20um的正三角形陣列
一般的膠片光罩解析度不足
詢問過港建 他們表示會有5um的R角 這樣會大幅偏離三角形的形狀
似乎還是只能用玻璃光罩
港建也有製作玻璃光罩的服務
大概花費1.6w 製作一周
想請問各位是否有委外製作玻璃光罩的經驗?
有沒有其他推薦的玻璃光罩製作廠商?
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1F：推 huges0111: 成大微奈米中心跟中央大學也都有光罩製作服務 04/22 09:05
2F：推 asumawei: 大寶島光電 04/22 17:11
3F：推 s75287: 台大也有 04/27 00:50
4F：→ OhMyAlex: 詢問後發現成大的解析度和價格最實惠 感謝大家推薦! 04/29 22:22
5F：推 sunchloveann: 目前台大北微 每片5000可以找他們作 06/28 14:53
6F：推 chishen1214: 工研院有在做 7吋約2萬 09/14 19:13